本发明专利技术提供一种适合清洗液再循环的预喷出装置。由橡皮刮板（１３）刮取从狭缝喷嘴（Ｎ）向底涂辊（１１）上喷出的涂布液，并通过排出路（１７）排出到废液罐（１８）中。由于向底涂辊上喷出的涂布液的大部分被橡皮刮板（１３）除去，所以降低了从底涂辊混入到清洗液槽内的涂布液量，降低了清洗液的污染程度。其结果，降低了清洗液的消耗量，降低了运转成本。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种狭缝式涂布机的预喷出装置。技术背景用狭缝式涂布机，对玻璃基板或半导体晶片的各种基板表面，连续 地涂布保护膜或显影液时，在涂布操作与涂布操作之间的待机中，喷出 喷嘴的前端与空气接触，4吏涂布液的浓度部分地上升。在这种状态下进行 涂布:^作时，存在因高浓度化了的涂布液而产生纵褶，或膜间断的危险。为了消除这种缺点，已知有一种在涂布操作之前，向底涂辊(priming roller)上喷出微量的涂布液，以除去高浓度的涂布液的预喷出装置(例如， 参照专利文献l)。上述的预喷出装置中，向在清洗液槽中可旋转地配置的底涂辊上喷出 涂布液，通过底涂辊的旋转，由橡皮刮板将喷出的涂布液除去。进而使其 通过清洗液槽中的清洗液中，由此除去底涂辊上残存的涂布液。向清洗后 的底涂辊，从空气喷嘴喷射干燥的空气，进行下一次的预喷出。专利文献l :日本专利特开2005-329340号7>才艮上述已知的预喷出装置中， 一旦回J^清洗液槽排出的清洗液，通过 再循环流路，将回收了的清洗液供应到喷淋式喷嘴以供再利用。然而，因 为由橡皮刮板除去涂布液的性能不够充分，所以在底涂辊的表面残存有涂 布液的状态下，通过清洗液槽中，因此发生清洗液槽中的清洗液被污染的 不良情况。因此，必须将清洗液槽中的清洗液和新液频繁地进行更换，存 在运转成本变高的缺点。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，进一步提高除去向底涂^面喷出的涂布液的性 能，实现更适合于清洗液的再循环的预喷出装置。此外，本专利技术的其他目的在于，提^H吏新液的使用量大幅度降低的预喷出装置。本专利技术涉及的预喷出装置的构成是，包括收容清洗液的清洗液槽； 在清洗液槽内可旋转地被配置，且附着有来自狭缝喷嘴的涂布液的底涂 辊；朝向该底涂辊喷射涂布液的第一清洗液喷射喷嘴；沿底涂辊的旋转方 向配置在比上述第一清洗液喷射喷嘴更靠后段侧，并刮取附着在上述底涂 辊上的涂布液的橡皮刮板；朝向通过了上述清洗液槽内的清洗液中的底涂 辊喷射清洗液的第二清洗液喷射喷嘴；朝向通过了第二清洗液喷射喷嘴的 底涂辊，喷射干燥空气的空气喷嘴，其中，与橡皮刮板邻接地设置排出路， 该排出^2$#出由上述橡皮刮板从底涂辊刮取的涂布液，将由上述橡皮刮板 除去的涂布液通过上述排出糾h出到废液罐中。本专利技术中，由橡皮刮板刮取向底涂辊上喷出的涂布液，将所刮取的涂 布液排出到排出路中，通过排出路排出到与清洗液槽分开设置的废液罐除。其结果，因"清洗液槽内的清洗液维持比"清洁的状态，、所以k需在再循环回路上设置过滤器，就能够再利用清洗液槽内的清洗液，降低清洗 液的消耗量。在基于本专利技术的预喷出装置的优选实施例中，橡皮刮板由可弹性变形 的树脂板等构成，且以橡皮刮板的前端与底涂辊的表面贴紧的方式进行配 置，由上述橡皮刮板刮取存在于底涂M面的涂布液，将刮取的涂布液通 过上述排出糾》出到废液罐中。作为橡皮刮板，如果使用聚JUI旨橡胶、聚 乙烯橡胶、硅酮橡胶等可弹性变形的橡胶的弹性板的话，则能够使弹性板 的前端与底涂辊的表面贴紧。通it^这种贴紧的状态下^^涂^:转，向 底涂辊上喷出的涂布液几乎完全被橡皮刮板刮落。并且，通过将刮取的涂 布液经过排出iM》出到废液罐中，清洗槽内的清洗液被涂布液污染的程度 大幅降低。此外，橡皮刮板的构成部件中，作为弹性橡胶材料以外的材料， 也能够使用SUS或各种合成树脂等的各种板材。本专利技术中，由橡皮刮板刮取向底涂辊上喷出的涂布液，并通过排出路 排出到废液罐中，因此涂布液混入到清洗液槽内的不良情况被消除。其结 果，通过循环清洗液槽中的清洗液而能够进行再循环，降低了新液的消耗 量，降低了运转成本。附图说明图1为本专利技术涉及的适用了预喷出装置的涂布装置的平面2为该预喷出装置的剖视图。 符号说明如下I. ..预喷出装置II. ..底涂辊 13...第一橡皮刮板 15…第二橡皮刮板 18."废液罐2...再循环部 10...、爿 N...狭缝喷嘴 12...第 一清洗液喷射喷嘴 14...第二清洗液喷射喷嘴 16...空气喷嘴 17...排出路19...抽吸机构 22...液面调整用废液部件 24…第一泵 25...再循环箱 27...緩冲罐 N...狭缝喷嘴21...排出孔 23...三通阀 26...第二泵具体实施方式图l是本专利技术涉及的适用了预喷出装置的涂布装置的平面图，图2是 该预喷出装置的剖视图。如图1所示，涂布装置在基座B上设置有一对平行轨道R、 R，成为 这些轨道R、R的中间位置的基座上面的中央处，固定有基&W的载台S， 以跨越该J4l载台S的方式，在轨道R、 R之间可移动地架设有移动^ M, M，这些移动机构在M、 M之间的前后架设横梁，俯视看，构成呈框 状的框架F，在该框架F上通过升降装置安装有狭缝喷嘴N。此外，在基座B的一端侧设置有预喷出装置1。预喷出装置由预喷出 部1和再循环部2组成。备用排液部1具有清洗液槽10，在清洗液槽10 内M清洗液。在清洗液槽10内配置有可旋转的底涂辊11。底涂辊11被 配置成其一部分浸在清洗液中，并通过按箭头方向旋转，由清洗液槽内的 清洗液来进行清洗。底涂辊ll由不锈钢、铝、钛、碳、镀铬等构成，且其 尺寸被设定为，直径是30 200mm，长度比狭缝喷嘴的长度方向的长度稍 微长。另外，作为清洗液喷射喷嘴，可以使用含有两流体喷嘴方式的各种 清洗液喷射喷嘴。预喷出时，狭缝喷嘴N位于底涂辊11的上方，从其下端向底涂辊11 喷出微量的涂布液。在底涂辊ll的周围，从狭缝喷嘴的喷出位置沿着箭头 方向，依次配置第一清洗液喷射喷嘴12、第一橡皮刮板13。此外，经过被 浸在清洗液中的部位后，依次配置第二清洗液喷射喷嘴14、第二橡皮刮板 15及空气喷嘴16。对于向底涂辊11上喷出的涂布液，从第一清洗液喷射喷嘴12喷射清 洗液。其次，通过底涂辊的旋转，移动至与第一橡皮刮板13相对置的位置， 底涂辊上的涂布液被第一橡皮刮板13刮取。本专利技术中，第一橡皮刮板13， 例如由聚#^旨、聚乙烯、硅酮橡胶等的弹性板构成。这些弹性板被安装成 其前端与底涂辊ll的表面压接。由此，弹性板上作用有可弹性变形的复原 力，通过该复原力使弹性板的前端相对底涂辊的表面压接。这样，通过由 弹性板构成橡皮刮板13，成为橡皮刮板的前端与底涂辊的表面无间隙地贴 紧的状态，能够可靠地刮取残存于底涂辊的表面的涂布液。由第一橡皮刮板刮取的涂布液，被排出到在橡皮刮板的上侧表面开口 的排出路17中，经排出路17被排出到废液罐18中。在该实施例中，由于 强制性地向废液罐18进行排出，所以在排出路17的途中设置有抽吸W^J 19。其结果，底涂辊上存在的涂布液，几乎被第一橡皮刮板除去，且被排 出到与清洗槽分开设置的废液罐中，因此清洗液槽内的清洗液被涂布液污 染的缺点被消除。其次，底涂辊通过清洗液槽内的清洗液中，且在通过清洗液期间残存 于底涂辊表面的涂布液被除去。进而旋转时，移动至与第二喷淋式喷嘴14 相对置的位置。第二清洗液喷射喷嘴14，朝向底涂辊11的表面强力地喷 射清洗液。通过该清洗液的喷射，残存的涂布液几乎被除去。底涂辊继续旋转，由第二橡皮刮板15刮落残存于表面的清洗液。第二 橡皮刮板15与第一橡皮刮板同样，也由弹'g构成。其次，移动本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种预喷出装置，包括：收容清洗液的清洗液槽；在清洗液槽内可旋转地被配置，且附着有来自狭缝喷嘴的涂布液的底涂辊；朝向该底涂辊喷射清洗液的第一清洗液喷射喷嘴；沿底涂辊的旋转方向配置在比上述第一清洗液喷射喷嘴更靠后段侧，并刮取附着在上述底涂辊上的涂布液的橡皮刮板；朝向通过了上述清洗液槽内的清洗液中的底涂辊喷射清洗液的第二清洗液喷射喷嘴；朝向通过了第二清洗液喷射喷嘴的底涂辊，喷射干燥空气的空气喷嘴，该预喷出装置的特征在于，与橡皮刮板邻接地设置排出路，该排出路排出由上述橡皮刮板从底涂辊刮取的涂布液，将由上述橡皮刮板除去的涂布液通过上述排出路排出到废液罐中。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山口和伸，高瀬真治，楫间淳生，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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