用于处理材料的设备和对其进行操作的方法技术

本发明专利技术涉及一种激光支持的材料加工设备，包括：提供脉冲激光束(16)的激光器(14)；测量装置(30、32、34、36、38)，用以获得所述激光束的基波功率的测量值以及通过倍频从所述激光束生成的至少一个高次谐波的功率的测量值；以及连接至所述测量装置的评测单元(22)，其被设计为根据测得的基波功率、测得的高次谐波的功率以及所述激光器(14)的设定辐射功率来检查所述激光束(16)的质量。通过计算测得的基波功率和测得的高次谐波的功率的商，可确定当前倍频的转换效率。所述当前倍频的转换效率是激光束(16)的波前和脉冲宽度的质量的估量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于处理材料的设备和对其进行操作的方法
本专利技术涉及一种利用脉冲激光束加工材料的设备。本专利技术进一步涉及一种操作这种材料加工设备的过程。
技术介绍
原则上，本专利技术可应用于加工任意材料的激光系统的领域中。因此，待加工的材料可为没有生命的物质；不过其也可涉及有生命的物质，例如人眼的组织。关于材料的加工，尤其是在可见光谱区域中是透明的那些材料的加工，所谓的飞秒激光系统正逐渐显现其重要性。在此方面，涉及产生脉冲宽度处于飞秒范围内的脉冲聚焦激光束的激光系统。这种飞秒激光系统例如在眼科激光手术中得以应用，其中它们通常出于在人眼的角膜组织中或其它组织区域中产生切口的目的而被采用。飞秒激光系统的有利方面在于它们适于产生任意指定的三维切口图形。下面将简要地阐述关于借助于聚焦飞秒激光辐射对透明材料进行加工的主要的基本过程。凭借激光束在材料中的强聚焦以及由于材料对辐射的透明性，激光能量可被耦合到内部，而不会破坏焦点上方辐射所通过的材料(例如角膜组织)。在焦点处发生的过程被称为光离解。在焦点处，微等离子体发生的阈值由于高强度的辐射而被超过。出现直径例如为大约1μm的极小球状材料的放射。结果，产生了具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种使用脉冲基波激光束(16)加工材料的设备，该设备包括：提供所述基波激光束(16)的激光器(14)；测量装置(30、32、34、36、38)，用以获得所述基波激光束的基波功率的测量值以及通过倍频从所述基波激光束生成的至少一个高次谐波的功率的测量值，其中为了产生所述高次谐波，所述测量装置包括光学非线性媒质(34)以及布置在该媒质的上游的聚焦单元(32)，所述聚焦单元(32)用于将从所述基波激光束(16)耦合出的部分基波光束(16”)聚焦到所述非线性媒质上；连接至所述测量装置的评测单元(22)，其被设计为根据测得的基波功率、测得的高次谐波的功率以及所述激光器(14)的设定辐射功率来检查所述基波激光束(16)的质量。2.根据权利要求1所述的使用脉冲基波激光束加工材料的设备，其中所述至少一个高次谐波包括二次谐波。3.根据权利要求1所述的使用脉冲基波激光束加工材料的设备，其中所述评测单元(22)被设计为将至少一个测得的功率值和/或从其导出的值与至少一个参考值进行比较，且根据测量值或导出值与参考值的偏离程度来引起预定的响应。4.根据权利要求3所述的使用脉冲基波激光束加工材料的设备，其中所述参考值表示在所述激光器(14)的设定的辐射功率下的基波功率的最大可得到的值、所述高次谐波的功率的最大可得到的值，或所述倍频的转换效率的最大可得到的值。5.根据权利要求3所述的使用脉冲基波激光束加工材料的设备，其中所述评测单元(22)被设计为从预先存储的参考信息中提取参考值，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗兰齐斯卡·韦提恩尼克，马蒂亚斯·韦尔费尔，克劳斯·沃格勒，奥拉夫·基特尔曼，
申请(专利权)人：威孚莱有限公司，
类型：发明
国别省市：