三维测量装置、三维测量方法及程序制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种三维测量装置、三维测量方法及程序。该三维测量装置包括：投射单元，包括能够改变照度的照明装置，投射单元利用来自照明装置的光将条纹投射至测量对象，并且改变被投射至测量对象的条纹的相位；成像单元，拍摄其上被投射了条纹的测量对象的图像；以及控制单元，通过使投射单元多次改变被投射至测量对象的条纹的相位以使成像单元拍摄多个图像，从所拍摄的多个图像中提取亮度值，基于所提取的亮度值计算测量对象的三维测量中的错误率，通过改变照明装置的照度来针对各照度计算错误率，并且基于所计算的各照度的错误率来确定用于三维测量测量对象的测量照度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种能够使用相移法(phase shift method)等对测量对象进行三维测量的三维测量装置等的技术。
技术介绍
至今，作为检查诸如配线基板的测量对象的质量的方法，已使用了分析对测量对象进行成像而获得的图像并检查测量对象的质量的方法。在二维图像分析中，难以检测测量对象中高度方向上的诸如裂痕和空腔的缺陷。由此，近来已使用通过三维图像分析来测量测量对象的三维形状并且检查测量对象的质量的方法。作为通过图像分析来测量测量对象的三维形状的方法，作为一种光切断法的相移法(时间条纹分析法)被广泛使用(例如，见日本未审查专利申请公开第2010-175554号(第至段)以及日本未审查专利申请公开第2009-204373号(第至段))。以下描述相移法的原理。根据相移法，首先，投射装置将亮度以正弦方式变化的条纹投射至测量对象。投射至测量对象的条纹的相位以预定相移量来改变。相位改变被重复多次(最少三次，通常四次以上)，直到条纹的相位移动了一个周期。当条纹的相位被改变时，成像装置在每次相位被改变时对条纹被投射至其上的测量对象进行成像。例如，当相移量为/2 时，条纹的相位以O、Ji /2、J本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村匠，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：