【技术实现步骤摘要】
示例实施例涉及用于拉紧气相沉积掩膜的对准主玻璃件、制造该对准主玻璃件的方法以及使用该对准主玻璃件拉紧该气相沉积掩膜的方法。更具体地说，示例实施例涉及用于拉紧气相沉积掩膜以沉积有机发光显示装置的有机发射层的对准主玻璃件、制造该对准主玻璃件的方法以及使用该对准主玻璃件拉紧该气相沉积掩膜的方法。
技术介绍
近来，被认为是自发光型显示装置的电致发光(EL)装置由于例如宽视角、良好对比度和快速响应特性而作为下一代显示装置获得了许多关注。例如，有机EL装置可以包括在透明绝缘基板上形成为预定图案的一系列第一电极、通过真空沉积形成在透明绝缘基板上的有机发射层，以及形成在有机发射层上以充当与第一电极交叉的阴极电极的一系列第二电极。在制造具有以上所述这种结构的有机EL装置中，第一电极可以通过湿法蚀刻，例如光刻法被图案化。不过，在光刻法被应用于蚀刻第二电极时，液体可能渗入有机发射层与第二电极之间的界面中，同时所使用的抗蚀剂被剥落并且第二电极被蚀刻，从而恶化有机 EL装置的性能和寿命特性。例如，如果在有机层的至少一部分形成之后执行湿法蚀刻工艺， 则湿气可能在湿法蚀刻工艺期间渗入或残留在...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：李相信，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：
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