光学式位置检测装置以及带位置检测功能的设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光学式位置检测装置以及带位置检测功能的设备。该光学式位置检测装置用于检测对象物体的位置，具有：射出检测光的多个检测用光源；驱动该多个检测用光源的光源驱动部；第一受光部，其接受由位于上述检测光的出射空间的上述对象物体反射的上述检测光；补偿用光源部，其射出不向上述出射空间入射的补偿光；第二受光部，其不接受上述检测光而接受上述补偿光；以及位置检测部，其根据上述第一受光部中的受光强度与上述第二受光部中的受光强度之差来检测上述对象物体的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对对象物体的位置以光学方式进行检测的光学式位置检测装置、以及具备该光学式位置检测装置的带位置检测功能的设备。
技术介绍
作为对对象物体进行光学方式检测的光学式位置检测装置，例如提出有下述方案从多个检测用光源的每ー个经透光部件朝向对象物体射出检测光，由对象物体反射的检测光经过透光部件后被受光部检测。在这样的结构的光学式位置检测装置中，根据受光部中的检测光的检测结果来检测对象物体的位置(參照专利文献1)。而且，还提出有下述方案在光学式位置检测装置中设置导光板，借助导光板使从多个检测用光源的每ー个出射的检测光朝向对象物体射出，由受光部检测被对象物体反射后的检测光(參照专利文献2、3)。专利文献1日本特表2003-5；34554号公报专利文献2日本特开2010-127671号公报专利文献3日本特开2009-295318号公报在实际使用专利文献1 3所记载的光学式位置检测装置吋，由于除了由对象物体反射的检测光之外，由对象物体以外的物体反射的检测光也入射到受光部，所以，存在对象物体的位置检测精度低这ー问题。例如，在专利文献1所记载的光学式位置检测装置中， 导致在透光部件的背面侧反本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大西康宪，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：