一种基于表面张力的微尺度驱动方法和装置制造方法及图纸

技术编号：7454512 阅读：242 留言：0更新日期：2012-06-23 03:45

本发明专利技术公开了一种基于表面张力的微尺度驱动方法，该方法是：在具有适当厚度的柔性悬臂梁的表面形成一层亲液层，然后在该亲液层上滴上预定量的液滴；所述液滴在表面张力的作用下将悬臂梁弯曲一定的角度，从而使所述悬臂梁的端部翘起预定的高度。本发明专利技术还公开了一种基于表面张力的微尺度驱动装置。本发明专利技术通过采用液滴与亲液层的表面之间的张力来驱动柔性悬臂梁弯曲，从而能够为微电子机械系统提供更大的微驱动力。