图案形成设备、图案形成方法及装置制造方法制造方法及图纸

当片(S)的分块区域(SAi)被扫描曝光时，载物台(SST1)在扫描区域(AS)的+X端部的备用位置处将与片(S)的分块区域(SAi)对应的后表面部分吸附到片保持器(SH1)的保持表面上，并且与掩模(掩模载物台)同步地以预定行程在X轴方向(-X方向)上移动。此时，与掩模的图案部分对应的照射束通过投射光学系统照射在片(S)上。由此转印(形成)图案。在对分块区域(SAi)进行扫描曝光之后，载物台(SST2)移动到XY平面内的备用位置。在载物台(SST2)将与片(S)的下一个分块区域(SAi+1)对应的后表面部分吸附到片保持器(SH1)的保持表面上之后，通过与上述类似的扫描曝光方法进行曝光，由此形成图案。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。更具体来说，本专利技术涉及利用扫描曝光在长的片材表面上的多个区域上形成图案的图案形成设备和图案形成方法，并且涉及使用这种图案形成方法制造电子装置的装置制造方法。
技术介绍
本申请要求2009年7月17日提交的61/226433号美国临时申请和2010年7月 9日提交的12/833632号美国专利申请的优先权，这两个申请的内容通过引用包含在本文中。平面显示面板(如液晶显示面板和等离子体显示面板)的尺寸日益增大。例如， 在液晶显示面板的情况下，边长大于3米的玻璃衬底(大衬底)已经被用于它们的制造，以高效率地一批生产多个屏幕块。结果，在保持衬底的载物台设备中，衬底越大，该载物台设备变得越大。在处理重达数十公斤的衬底的载物台设备中，可移动部分的重量已经接近达到10吨，并且整个设备的重量已经超过100吨。因此，在不远的将来，预期衬底会更大，这导致难以制造和传送它们。另外，所述载物台设备显然将变得更大，这需要重金投入到基础设施的建设中。另一方面，已知一种使用轧片状记录介质作为要被曝光的物质的曝光设备。该曝光设备主要用于印刷线路板的制造领域。如果例如在液晶显示元件的制造中使用这种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：木内彻，水谷英夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：