一种扫描电子显微镜扫描用夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种扫描电子显微镜扫描用夹具，该夹具包括碗形托底、固定安装于所述托底上部的圆环形托盘，通过双面胶粘贴于所述托盘上部的托板，所述托板为正方形结构，所述托板的边长大于所述圆环形托盘的外径，所述托板为金属材料。本实用新型专利技术通过在原有夹具上面增加了托板，从而达到增大使用面积的效果，制作成本低；本实用新型专利技术使用方形托板来增加原来环形托盘的面积，有效增加了单次检测的可放置样品数量，提高了样品的检测效率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种进行扫描电子显微镜扫描样品用的辅助夹具。
技术介绍
随着器件及缺陷点尺寸的不断减小，普通的OM即光学显微镜已经无法进行观测， 于是SEM (Scan Electronics Microscopy)扫描式电子显微镜成为必需的工具。由于不同的扫描电子显微镜真空室都是有各自的尺寸，以及配套的支架。但是真空室内部结构比较复杂，为了避免使用者在观察样品时不至于撞到内部的接收探头等，设计的支架也会比较小，这样便不足以充分利用其使用面积，效率降低。扫描电子显微镜是一台比较老式的电镜，在换样品时需要将整个真空室破真空， 现有支架如图1所示，托盘为圆环形，直径大小是5cm。在大批量观察样品时一次放入真空室的数量较少，由于换样需要破掉整个真空，抽真空时间相对比较长，大大降低了效率。此真空系统很难得到改进，因此，如何在真空系统不变的情况下提高样品的检测效率的问题， 成为该
亟待解决的问题。
技术实现思路
为解决现有扫描电子显微镜批量扫描样品时速度慢、效率低的问题，本技术提供以下技术方案一种扫描电子显微镜扫描用夹具，该夹具包括碗形托底、固定安装于所述托底上部的圆环形托盘，通过双面胶粘贴于所述托盘上部的托板，所述托板为正方形结构，所述托板的边长大于所述圆环形托盘的外径，所述托板为金属材料。更优地，所述托板的材质为金属铝。本技术优点是1、本技术通过在原有夹具上面增加了托板，从而达到增大使用面积的效果， 制作成本低；2、本技术使用方形托板来增加原来环形托盘的面积，有效增加了单次检测的可放置样品数量，提高了样品的检测效率。附图说明图1为本技术改进前结构示意图；图2为本技术改进后结构示意图。图中标号为1 一托底2—托盘3—托板具体实施方式以下结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点3和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。如附图2本技术改进后结构示意图所示，一种扫描电子显微镜扫描用夹具， 该夹具包括碗形托底1、固定安装于托底1上部的圆环形托盘2，通过双面胶粘贴于托盘2 上部的托板3，托板3为正方形结构，托板3的边长大于圆环形托盘2的外径，托板3为金属铝材料。以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域的技术人员在本技术所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。权利要求1.一种扫描电子显微镜扫描用夹具，该夹具包括碗形托底(1)、固定安装于所述托底 (1)上部的圆环形托盘(2)，其特征在于该夹具还包括通过双面胶粘贴于所述托盘(2)上部的托板(3)，所述托板(3)为正方形结构，所述托板(3)的边长大于所述圆环形托盘(2)的外径，所述托板(3)为金属材料。2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜扫描用夹具，其特征在于所述托板(3) 的材质为金属铝。专利摘要本技术提供了一种扫描电子显微镜扫描用夹具，该夹具包括碗形托底、固定安装于所述托底上部的圆环形托盘，通过双面胶粘贴于所述托盘上部的托板，所述托板为正方形结构，所述托板的边长大于所述圆环形托盘的外径，所述托板为金属材料。本技术通过在原有夹具上面增加了托板，从而达到增大使用面积的效果，制作成本低；本技术使用方形托板来增加原来环形托盘的面积，有效增加了单次检测的可放置样品数量，提高了样品的检测效率。文档编号H01J37/20GK202217638SQ20112032009公开日2012年5月9日 申请日期2011年8月30日 优先权日2011年8月30日专利技术者吴春晖 申请人:上海华碧检测技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴春晖，
申请(专利权)人：上海华碧检测技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：