手持式免充电吸笔制造技术

本发明专利技术的手持式免充电吸笔包括活塞装置、吸嘴装置和手持装置；所述活塞装置包括腔体、设置在所述腔体内的活塞和与所述活塞连接的连接杆；所述吸嘴装置设置于所述活塞装置的一端，且与所述活塞装置通气；所述手持装置与所述连接杆连接，所述手持装置用于拉动所述连接杆，从而推动所述活塞在所述腔体内移动。本发明专利技术的手持式免充电吸笔利用活塞装置产生负压从而吸住硅片，既携带方便又不需要充电。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路制造工艺
，尤其涉及一种手持式免充电吸笔。
技术介绍
伴随集成电路制造工艺的不断进步，半导体制造自动化程度越来越高，这使得绝大多数情况下硅片传输都是由机台自动进行的。但是，对于一些小型的没有自动化生产线的公司以及一些高校和研究所的实验室里经常需要人为手动传输硅片。即便是自动化程度高的大型公司，需要人为手动传输和处理硅片的状况也时有发生，一种情形是在进行一些特殊工艺时，为了沾污控制，防止交叉污染，不能使用公用机台进行硅片传输，只能使用手动方式来传输硅片；另外一种情形是由于半导体设备的高精度、高复杂度和高集成度造成半导体设备总体的高故障率，机台故障的发生往往导致工艺进行中的硅片或者传输进行中的硅片停留在机台内部无法自动传送出来，需要设备工程师进行故障排除并从机台内部手动取出硅片后放入片盒，由于没有合适的工具，设备工程师往往直接用手取出硅片，尽管有手套的保护，但其对机台的损害和对硅片表面的刮伤或者沾污风险都是很高的。目前手动传输硅片的主要工具有以下几种第一种是通过软管直接连接在洁净室真空系统的吸笔，它的缺点是无法移动，只能在固定的、有限的地点进行硅片传输，且建立洁净室真空系统的连接点和吸笔对真空持续的损耗都会提升成本；第二种是需要充电的， 通过电机旋转产生负压，从而产生吸力的手持式吸笔，其缺点是需要配备专门的充电插座和底座，使用时经常发生电量不足从而有导致硅片掉落的危险，且其制造成本也较高；第三种是形状类似于镊子的硅片夹子，尽管这种夹子成本低且便于携带和使用，但是其方式并不是吸附硅片的背面，而是通过夹住硅片的边缘来移动硅片，这很容易造成硅片正面的污染或者刮伤等情况发生。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种手持式免充电吸笔，利用活塞装置产生负压从而吸住硅片，既携带方便又不需要充电。为了达到上述的目的，本专利技术提供一种手持式免充电吸笔，包括活塞装置、吸嘴装置和手持装置；所述活塞装置包括腔体、设置在所述腔体内的活塞和与所述活塞连接的连接杆；所述手持装置设置于所述腔体的一端，且与所述连接杆连接，所述手持装置用于拉动所述连接杆，从而推动所述活塞在所述腔体内移动；所述吸嘴装置设置于所述腔体的另一端，且与所述腔体通气。上述手持式免充电吸笔，其中，所述活塞将所述腔体分隔成两个互不相通的气腔 第一气腔和第二气腔，所述第二气腔靠近所述手持装置，所述第一气腔靠近所述吸嘴装置； 所述连接杆位于所述第二气腔内，其一端与所述活塞连接，其另一端伸出所述第二气腔外与所述手持装置连接；所述第二气腔设有第一通气孔，使所述第二气腔与大气相通；所述第一气腔设有第二通气孔，所述第二通气孔用于与所述吸嘴装置通气。上述手持式免充电吸笔，其中，所述吸嘴装置包括通管和吸盘，所述通管的一端与所述第一气腔连接，且与所述第一气腔相通，所述吸盘设置在所述通管的另一端，所述吸盘设有第三通气孔，所述第三通气孔与所述通管相通。上述手持式免充电吸笔，其中，所述吸盘为弧形曲面。上述手持式免充电吸笔，其中，所述手持装置包括第一手持杆、第二手持杆、第三手持杆和第四手持杆，所述第一手持杆的一端与所述腔体活动连接，所述第一手持杆的另一端与所述第二手持杆的一端活动连接，所述第三手持杆的一端与所述腔体活动连接，所述第三手持杆的另一端与所述第四手持杆的一端活动连接，所述第二手持杆的另一端活动连接在所述连接杆伸出第二气腔外的一端上，所述第四手持杆的另一端活动连接在所述连接杆伸出第二气腔外的一端上。上述手持式免充电吸笔，其中，所述第一气腔内设有第一弹簧，所述第一弹簧的一端连接在所述腔体的内壁上，所述第一弹簧的另一端连接在所述活塞上。上述手持式免充电吸笔，其中，所述手持装置包括第一手柄、第二手柄、第二弹簧和旋转装置；所述第一手柄固定设置在所述腔体的一端；所述旋转装置与所述第一手柄转动连接，所述旋转装置可相对所述第一手柄转动；所述第二手柄与所述旋转装置连接；所述第二弹簧连接所述第一手柄与第二手柄；所述连接杆与所述旋转装置连接；所述第二手柄的运动带动所述旋转装置转动，进而带动所述连接杆移动，从而推动所述活塞在所述腔体内移动。上述手持式免充电吸笔，其中，所述第一手柄包括第一手柄头和第一手柄杆，所述第一手柄头设置在所述第一手柄杆的一端，所述第一手柄杆的另一端固定安装在所述腔体的外表面上。上述手持式免充电吸笔，其中，所述旋转装置包括转盘和转动杆，所述转盘固定设置在所述转动杆的一端，所述转动杆的另一端与所述第一手柄转动连接。上述手持式免充电吸笔，其中，所述第二手柄包括第二手柄头、第二手柄杆和环形端部，所述第二手柄头设置在所述第二手柄杆的一端，所述环形端部设置在所述第二手柄杆的另一端，所述环形端与所述旋转装置固定连接。本专利技术的手持式免充电吸笔不需要将吸笔接入洁净室的真空系统，也不用充电， 使用方便，生产和维护成本低，体积轻便，存放和携带方便且耐用性高，也没有传统的硅片夹对硅片表面的沾污和刮伤的缺点，本专利技术的手持式免充电吸笔兼容了现有的几种手动传输硅片的工具的优点且改善了这些工具的缺点，本专利技术的手持式免充电吸笔无论是在成本控制的需求方面还是人员使用的便利性的需求方面都是很大帮助的。附图说明本专利技术的手持式免充电吸笔由以下的实施例及附图给出。图1是本专利技术实施例一手持式免充电吸笔未使用状态的结构示意图。图2是本专利技术实施例一手持式免充电吸笔使用状态的结构示意图。图3是本专利技术实施例二手持式免充电吸笔未使用状态的结构示意4是本专利技术实施例二中旋转装置的结构示意图。图5是本专利技术实施例二中第二手柄的结构示意图。图6是本专利技术实施例二手持式免充电吸笔使用状态的结构示意图具体实施例方式以下将结合图1 图6对本专利技术的手持式免充电吸笔作进一步的详细描述。本专利技术的手持式免充电吸笔包括活塞装置、吸嘴装置和手持装置；所述活塞装置包括腔体、设置在所述腔体内的活塞和与所述活塞连接的连接杆；所述吸嘴装置设置于所述活塞装置的一端，且与所述活塞装置通气；所述手持装置与所述连接杆连接，所述手持装置可拉动所述连接杆，从而推动所述活塞在所述腔体内移动。使用本专利技术的手持式免充电吸笔时，所述吸嘴装置与硅片背面接触，对所述手持装置施力，拉动所述连接杆移动，从而推动所述活塞移动，抽走所述吸嘴装置与硅片背面之间的气体，在所述吸嘴装置与硅片背面之间产生负压使所述吸嘴装置牢牢吸住硅片背面， 从而达到手动传输硅片的目的。本专利技术的手持式免充电吸笔利用活塞装置产生负压，从而吸住硅片，不需要将吸笔接入洁净室的真空系统，可随意地移动吸笔，方便携带，也不需要耗费电能驱动电机产生负压，无需充电，大大降低制造成本。现以具体实施例详细说明本专利技术的手持式免充电吸笔实施例一参见图1，本实施例的手持式免充电吸笔包括活塞装置110、吸嘴装置120和手持装置200 ；所述活塞装置110包括腔体111、设置在所述腔体111内的活塞112和与所述活塞 112连接的连接杆113;所述吸嘴装置120设置于所述活塞装置110的一端，且与所述活塞装置110通气；所述手持装置200与所述连接杆113连接，所述手持装置200可拉动所述连接杆 113，从而推动所述活塞112在所述腔体111内移动。设置在所述腔体111内的活塞112将所述腔体111分隔成两个互不相通的气腔 第一气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：袁伟，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：