【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微型开关，具体涉及一种应用于医疗介入的由环形弹簧支撑的三维多方向压力开关。属于微机电系统
技术介绍
以微机电系统技术为基础设计和制造的微型接触传感器因其具有体积小、成本低及批量生产等优点备受关注。以往的微机械开关，因其加工方法是基于微机电系统技术，很多情况下开关的制备是以硅为基础进行刻蚀或电镀，通过干法刻蚀SOI (Silicon on Insulator)硅片得到能够悬空的可水平运动结构，并利用刻蚀出的侧壁斜面实现开关的接通功能，这即为水平压力驱动的微机械开关；而通过在单晶硅基底上的电镀和牺牲层工艺技术，则可实现垂直驱动的微机械压力开关。微机械压力电学开关的设计多数采用悬臂梁作为电极去接触碰撞另一固定电极的形式，制作的开关器件一般为单一方向力驱动，当需要同时敏感多方向外力作用时，只能联合使用多个开关，不但造成了开关器件数量上的浪费，而且也使系统的封装集成更为困难、复杂。因而，如何尽可能使用少的开关器件数量来感应、检测来自多方向的外力作用，集能够敏感三维多方向外力作用于一种微开关器件一直是人们努力的方向，而目前提出这种敏感三维多方向外...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于医疗介入的由环形弹簧支撑的三维多方向压力开关，包括基底、可动电极、固定电极、水平弹簧和弹簧支撑座；其特征在于所述的可动电极包括环形可动电极和水平梁两个部分，所述水平梁为圆环桥形结构，水平梁位于环形可动电极内侧并与环形可动电极共同组成可动电极；所述环形可动电极与环形水平弹簧连接，并被弹簧支撑座悬空在基底上方；所述的固定电极固定在基底上，位于基底的四周，弹簧支撑座固定在基底、 位于基底中央；所述的固定电极为L形，L形一部分平行于基底、另一部分垂直于基底，其中固定电极平行于基底部分与环形可动电极有垂直间隙，固定电极垂直于基底部分与环形可动电极有水平间隙。2.根据权利要求1所述的应用于医疗介入的由环形弹簧支撑的三维多方向压力开关， 其特征是，所述的基底是指石英或玻璃基底。3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨卓青，黄韬，丁桂甫，赵小林，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
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