有机EL显示面板及其制造方法技术

本发明专利技术提供通过喷墨方式形成均一膜厚的层，能够抑制发光斑块而期待优异的图像显示性能的有机EL显示面板及其制造方法。此外，提供能够防止喷墨头的墨液堵塞，以良好的生产效率制造有机EL显示面板的有机EL显示面板的制造方法。具体而言，在有机EL显示面板100中，在列(Y)方向相邻的开口部13之间的堤7的上表面形成凹陷部8。在发光层9形成时，基于喷墨方式，向开口部13以及凹陷部8滴下墨液。在开口部13和凹陷部8蒸发溶媒，实现沿着Y方向的有机材料中的溶媒蒸气浓度的均一化，使膜厚均一。另外，通过向凹陷部8排出墨液，防止喷墨头的喷嘴堵塞，实现生产效率的提高。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用作为电气发光元件的有机电场发光元件(以下称为“有机EL元件”)的有机EL显示面板及其制造方法，特别涉及使用了喷墨头的涂敷工序的改良技术。
技术介绍
近年来，进行实用化的有机EL元件是电流驱动型的发光元件，具有在阳极和阴极的一对电极对之间配设包含有机发光材料的发光层的基本构造。驱动时在一对电极对之间施加电压，利用从阳极向发光层注入的空穴以及从阴极向发光层注入的电子再结合从而发生的电场发光现象。有机EL元件因为是进行自发光所以视别性强，由于是完全固体元件， 具有耐冲击性优异等特征。作为有机EL元件的种类，已知使用高分子材料、薄膜形成性好的低分子，将其通过基于喷墨方式等的湿法制程(涂敷工序)进行涂敷而形成发光层、电荷注入层的涂敷型。 将该涂敷型的有机EL元件作为发光单位在基板上沿着行列方向设置多个而成的有机EL显示面板，作为小型电子设备的显示器、图像显示装置等实用化。在有代表性的喷墨方式中，在作业台上放置涂敷对象基板，以在该基板上沿着行列方向的任一方向横贯的方式使喷墨头移动，根据由在基板上提(bank)划分出的各有机 EL元件形成区域，使包含发光层、电荷注入层的有机材料以及溶媒的溶液(以下简称为“墨液”)的液滴从喷嘴排出(参照专利文献1)。喷墨头通过压电方式等驱动方式驱动。作为所述提的形状，虽然也有在多个有机EL元件形成区域共通配置的线提(line bank)，但是按各有机EL元件划分、规制的形状(所谓像素提)是主流。配设多个有机EL元件制造有机EL面板的情况下，统一各有机EL元件的特性很重要。因此，要求使向各有机EL元件形成区域排出的墨液的量均一并且统一蒸发干燥所述墨液形成的各发光层、电荷注入层的膜厚。于是，通常，在所述涂敷工序中，通过调整各个喷墨头的施加电压，统一墨液从喷嘴射出的速度(以下称为“液滴速度”)等方法，谋求基板上的各有机EL元件形成区域间的墨液量的均一化。专利文献1 日本特开2003-241683号公报专利文献2 日本特开2005-322656号公报
技术实现思路
然而，通过以往的喷墨方式制造有机EL显示面板的情况下，存在几个问题。作为第一个问题，列举由涂敷的墨液形成的层的膜厚的均一性还难以达到所要求的水平。图19是表示以往的有机EL显示面板的制造工序的示意截面图。在基板1，在表面依次设置有TFT层2、平坦化膜4、下部电极6、提7，提7配设为形成以列(Y)方向为纵长的大致长方形状的开口部13。从喷墨头的头部301排出的墨液的液滴，以该开口部13作为有机EL元件形成区域，从设置在喷墨头的喷嘴本体301的喷嘴排出。很多溶媒成分从排出的墨液9x向正上方蒸发干燥。但是，提7介于列(Y)方向相邻的开口部13之间，各开口部13 之间比较大的隔开。因此，在开口部13的列(Y)方向两端部附近，从墨液蒸发的溶媒的扩散自由度比较大，该区域的溶媒的蒸气浓度比各开口部的中央区域附近的蒸气浓度高。结果，通过所述墨液形成的层，与开口部13的所述中央区域的膜厚相比所述两端部区域的膜厚更厚，作为整体膜厚变得不均一。在此，图20将以往的发光层的膜厚测定结果规格化而示出，表示在发光层9的纵长方向两端膜厚厚而变得不均一的样子。作为第二个问题，存在喷墨头的喷嘴发生堵塞的问题。为了有机EL显示面板的制造填充到喷墨头的墨液比一般喷墨打印机使用的印字用墨液的粘度高。在使用该高粘度的墨液的情况下，如果对与有机EL元件形成区域不对应的特定的喷嘴设定为不排出墨液(参照图19的(a))，则有时在该喷嘴的内部墨液凝固，发生堵塞。当存在发生了堵塞的喷嘴时，在设定时间内不能正确的排出液滴。此外，在向一开口部通过多个喷嘴排出液滴的情况下，其中包含发生了堵塞的喷嘴时，在各有机EL形成区域由墨液形成的层的厚度变得不均一，也成为发光斑块的原因。此外，在向一开口部从一个喷嘴排出液滴的情况下，当该喷嘴发生堵塞变为不排出喷嘴时，还产生不能向沿喷墨头的扫描方向的所有多个开口部的全部排出墨液的缺陷。发生了堵塞的喷嘴除了不能对应于基板上的印刷图案的变更之外，最坏的情况下，会造成基板的损失、需要更换喷墨头。另外，即使在喷嘴有望再生利用的情况下，也需要将喷墨头从装置取下洗净之后再次向装置侧以高精度校准安装的劳力时间(包含反复动作)，还成为使生产效率显著降低的原因。本专利技术是鉴于上述问题做出的，作为第一目的，提供通过喷墨方式形成均一膜厚的层，能够抑制发光斑块而期待优异的图像显示性能的有机EL显示面板及其制造方法。另外，作为第二目的，提供能够防止喷墨头的喷嘴的堵塞，以良好的生产效率制造有机EL显示面板的有机EL显示面板的制造方法。为了解决上述问题，作为本专利技术一个方式的有机EL显示面板的制造方法，包括 准备基板的工序；在所述基板上形成TFT层的工序；在所述TFT层的上方形成平坦化膜的工序；以在行列方向排列划分有机EL元件形成区域的开口部的方式，在所述平坦化膜的上方形成至少表面具有拨液性的提，在位于在列方向排列的所述多个开口部之间的所述提的上表面形成凹陷部的、提和凹陷部形成工序；以及通过配置有多个喷嘴的喷墨头，对一开口部从所述多个喷嘴中的预定数的喷嘴排出包含有机材料以及溶媒的液滴，使溶媒蒸发干燥而在所述一开口部内形成发光层的发光层形成工序，在发光层形成工序中，从所述多个喷嘴中位于所述多个开口部之间的喷嘴向所述凹陷部排出所述液滴。本专利技术的有机EL显示面板的制造方法，在基板上在列方向排列的各开口部之间的提的上表面设置凹陷部，在发光层和凹陷部形成工序中，向该凹陷部排出包含作为发光层的材料的有机材料和溶媒的液滴。如果使向该凹陷部滴下的液滴中的溶媒和向开口部滴下的液滴中的溶媒一起蒸发，则特别是在列方向相邻的开口部的列方向两端附近的溶媒的蒸气浓度比以往变得均一。其结果，通过在均一的蒸气浓度的氛围下干燥溶媒，能够得到膜厚不均小的发光层。由此，在面板整体中可以期待发光斑块少的良好的图像显示性能。另外，在发光层和凹陷部形成工序中，对在列方向相邻的开口部从喷墨头的多个喷嘴中的预定喷嘴排出液滴，并且向位于所述相邻的开口部之间的凹陷部也从所述多个喷嘴中除了所述预定喷嘴以外的其他喷嘴排出液滴，所以不会出现像以往那样设定为不排出的喷嘴。这样，通过将基板上的凹陷部用于喷嘴的虚拟作业的孔，从全部喷嘴排出液滴，能够降低喷墨头的喷嘴发生堵塞的问题，能够以优异的生产效率制造有机EL显示面板。附图说明图1是表示实施方式1的有机EL显示面板的结构的示意截面图。图2是表示凹陷部周边的结构的示意扩大截面图。图3是表示凹陷部周边的结构的示意扩大截面图。图4是表示有机EL显示面板的制造过程的图。图5是表示喷墨装置系统的部分结构的图。图6是喷墨装置系统的功能框图。图7是表示喷墨头的结构的截面图。图8是表示有机EL显示面板的制造过程的图。图9是表示喷墨头以及涂敷对象基板的位置关系(横向作业时)的图。图10是表示喷墨头以及涂敷对象基板的位置关系(纵向作业时)的图。图11是表示刚涂敷墨液后的样子的面板的截面立体图。图12是表示实施方式2的有机EL显示面板的结构的示意截面图。图13是刚涂敷墨液后的样子的面板的截面立体图。图14是表示实施方式3的有机EL显示面板的结构的示意截面图。图15是表示凹陷部周边的结构的示意扩大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：竹内孝之，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：