光学位置测量设备制造技术

本发明专利技术涉及一种光学位置测量设备，用于检测两个可以在至少一个测量方向上相对于彼此移动的对象的位置。该位置测量设备具有计量用具，该计量用具与两个对象之一连接，该计量用具具有在测量方向上延伸的增量分度以及至少一个在参考位置处的参考标记。该参考标记包括两个被布置为关于参考标记对称轴镜像对称的参考标记部分域，所述参考标记部分域分别由在测量方向上延伸的具有可以局部改变的分度周期的结构构成。另外，该位置测量设备具有扫描单元，该扫描单元与两个对象中的另一个连接并且分配有扫描装置，这些扫描装置用于生成至少一个在参考位置处的参考信号。所述扫描装置包括至少一个在计量用具的方向上发散地辐射的光源以及具有如下元件的探测器装置：这些元件沿着测量方向被布置为使得在测量方向上从中央的探测器装置对称轴出发，相邻元件之间的中心距与从参考标记对称轴出发所述参考标记部分域中的结构的分度周期在相同的方向上改变。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光学位置测量设备。
技术介绍
从申请人的EP 513 427 Al中公知一种光学位置测量设备，该光学位置测量设备 适于检测两个可以在至少一个测量方向上相对于彼此移动的对象的位置。为此，该公知的 位置测量设备包括与两个对象之一连接的计量用具(MafiverkSrperung)。该计量用具具有 在测量方向上延伸的增量分度(Inkrementalteilung)以及至少一个在参考位置处的参考 标记。该参考标记由具有可局部改变的分度周期的结构构成，也就是说，该参考标记由包括 许多不同分度周期的结构构成。这样的结构也称为所谓的啁啾(gechirpt)分度结构或者啁 啾光栅。另外，该位置测量设备包括扫描单元，该扫描单元与两个对象中的另一个连接并且 具有扫描装置，该扫描装置用于通过沿着测量段对增量分度和参考标记进行光学扫描来生 成至少一个与位移有关的增量信号以及至少一个参考位置处的参考信号。在此，当通过计 量用具和扫描光栅的不同啁啾分度周期而产生的所有信号频率分量都相位正确地叠加时， 产生参考脉冲信号。在EP 513 427 Al的图8中公开了这样构造的啁啾参考标记的特殊变型本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种光学位置测量设备，用于检测两个能够在至少一个测量方向（ｘ）上相对于彼此移动的对象的位置，具有：—计量用具（１０；１１０；２１０），其与两个对象之一连接并且具有在测量方向（ｘ）上延伸的增量分度（１２）以及至少一个在参考位置（ｘＲＥＦ）处的参考标记（１１；１１１；２１１），其中参考标记（１１；１１１；２１１）包括两个被布置为关于参考标记对称轴（ＲＳ）镜像对称的参考标记部分域（１１Ａ，１１Ｂ；１１１Ａ，１１１Ｂ；２１１Ａ，２１１Ｂ），所述参考标记部分域（１１Ａ，１１Ｂ；１１１Ａ，１１１Ｂ；２１１Ａ，２１１Ｂ）分别由在测量方向（ｘ）上延伸的具有能够局部改变的分度周期的结构构成；—扫描单元（２０...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·赫尔曼，
申请(专利权)人：约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司，
类型：发明
国别省市：DE