【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对净室等进行空气净化时使用的空气过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置。更详细地说，涉及一种在例如半导体、液晶等电气电子部件等的制造过程中进行空气净化时使用的过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置。
技术介绍
作为对净室(クリ-ンル-ム)等进行空气净化时使用的过滤器，本申请人以前曾提出聚四氟乙烯(以下称为“PTFE”)多孔膜(例如特开平5-202217号公报)。另外，在使用PTFE多孔膜的场合下，由于膜本身很薄，为了防止损伤或者防止发生针孔，还曾提出将PTFE多孔膜的两面层合上皮芯结构长纤维的纺粘型非织造布等热塑性材料来进行保护的提案(特开平6-218899号公报)。但是，上述过去的特开平5-202217号公报和特开平6-218899号公报中提出的过滤器过滤材料，例如，在作为净室中的空气过滤器使用时，发现产生微量的总有机碳(ト-タルオ-ガニツクカ-ボン)(以下称为“TOC”。此处，TOC是指例如十二烷、十三烷、丁基羟基甲苯(BHT)、磷酸酯、苯二甲酸二辛酯、硅氧烷等各种气态有机物的总量。)。在净室等进行空气净化的空间中，一旦T...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：井上治，茶圆伸一，浦冈伸树，楠见智男，浅野纯，平野诚一，原聪，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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