过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置制造方法及图纸

一种过滤器过滤材料，从过滤器过滤材料中检测出的有机物检出量的最大值为，每１ｇ过滤器过滤材料在３ｎｇ以下。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对净室等进行空气净化时使用的空气过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置。更详细地说，涉及一种在例如半导体、液晶等电气电子部件等的制造过程中进行空气净化时使用的过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置。
技术介绍
作为对净室(クリ-ンル-ム)等进行空气净化时使用的过滤器，本申请人以前曾提出聚四氟乙烯(以下称为“PTFE”)多孔膜(例如特开平5-202217号公报)。另外，在使用PTFE多孔膜的场合下，由于膜本身很薄，为了防止损伤或者防止发生针孔，还曾提出将PTFE多孔膜的两面层合上皮芯结构长纤维的纺粘型非织造布等热塑性材料来进行保护的提案(特开平6-218899号公报)。但是，上述过去的特开平5-202217号公报和特开平6-218899号公报中提出的过滤器过滤材料，例如，在作为净室中的空气过滤器使用时，发现产生微量的总有机碳(ト-タルオ-ガニツクカ-ボン)(以下称为“TOC”。此处，TOC是指例如十二烷、十三烷、丁基羟基甲苯(BHT)、磷酸酯、苯二甲酸二辛酯、硅氧烷等各种气态有机物的总量。)。在净室等进行空气净化的空间中，一旦TOC高，那么在例如半导体、液晶等的制造过程中就很可能招致品质降低。专利技术的公开本专利技术的目的在于，为了解决上述的过去那些问题，提供一种有机物发生低、以PTFE多孔膜为主的、并且具有空气净化作用的过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置。为了达到上述目的，本专利技术的过滤器过滤材料具有下述(1)～(4)中至少一个特征。(1)特征在于，从过滤器过滤材料检测出的有机物检出量的最大值为，每1g过滤器过滤材料在3ng以下。上述中，有机物检出量的最大值优选为，每1g过滤器过滤材料在2ng以下，更优选在1ng以下。应予说明，本专利技术中所说的上述“有机物”不是指TOC，而是指被检测出的每一种有机物。(2)它是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的过滤器过滤材料，其特征在于，上述透气性支撑材料在80℃的条件下(采用下文定义的分析方法)检测出的有机物的总量为，每250mg透气性支撑材料在1000ng以下。上述中，被检测出来的有机物的总量优选为，每250mg透气性支撑材料在500ng以下，更优选在150ng以下。(3)它是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的过滤器过滤材料，其特征在于，上述透气性支撑材料的高温加压耐久度为0～15.0。已经发现，上述高温加压耐久度越低，TOC的发生越少。本专利技术中的透气性支撑材料，其采用下文定义的试验方法测定的高温加压耐久度为0～15.0，优选为0～8.0，特别优选为0～5.0。其机理尚不清楚，但该数值小，就可认为是热裂化、热变形小的材料，可以认为透气性支撑材料本身难以产生作为热裂化结果的杂质(TOC)。(4)它是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的过滤器过滤材料，其特征在于，上述透气性支撑材料实质上是选自聚酯和聚酰胺中的至少一种材料。此处“实质上由聚酯和聚酰胺构成的材料”是指主要由聚酯和聚酰胺构成的、不含例如聚烯烃等能引起透气性支撑材料本身产生有机物的材料和不含在制造加工透气性支撑材料时添加的、能够在空气过滤器装置的使用环境下挥发的各种添加剂等的材料。优选实质上由聚酯材料构成。特别优选由选自聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚对苯二甲酸丁二醇酯中的至少一种聚合物构成。其次，本专利技术的过滤器元件的特征在于，用上述本专利技术过滤器过滤材料形成褶裥状。例如，用上述(1)、(2)、(3)、(4)的过滤器过滤材料形成褶裥状。其次，本专利技术的空气过滤器装置，是用一种在聚四氟乙烯(PTFE)多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的空气过滤器过滤材料构成的空气过滤器装置，其特征在于，将上述过滤器过滤材料以波纹状折曲的状态收容在框架结构的支持体内且将周围密封，而且，上述过滤器过滤材料为上述本专利技术的过滤器过滤材料(例如上述(1)、(2)、(3)、(4)的过滤器过滤材料)。附图的简单说明附图说明图1示出本专利技术一个实施方案的过滤器过滤材料的截面图。图2示出本专利技术一个实施方案的空气过滤器装置的立体图。图3示出图2的隔离物部分的截面图。图4A示出本专利技术中使用的、在社团法人日本空气净化协会(JACA)、过滤材料规格委员会制定的“空气净化装置用过滤材料燃烧性试验法”(JACA-No.11-1977)中使用的支持框架的主视图，图4B示出其俯视图。图5示出“空气净化装置用过滤材料燃烧性试验法”JACA-No.11-1977中使用的金属框架的俯视图。图6示出“空气净化装置用过滤材料燃烧性试验法”JACA-No.11-1977中使用的安装试验体的状态下的主视图。图7A为本专利技术实施例1的GC-MS分析图，图7B为本专利技术实施例2的GC-MS分析图，图7C为比较例1的GC-MS分析图，图7D为比较例2的GC-MS分析图。实施专利技术的最佳方案以下更详细地说明上述本专利技术的过滤器过滤材料的特征。本专利技术的过滤器过滤材料(1)从过滤器过滤材料检测出的有机物检出量的最大值优选为，每1g过滤器过滤材料在3ng以下。而且，它是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的空气过滤器过滤材料，从过滤器过滤材料中检测出的有机物检出量的最大值优选为，每1g过滤器过滤材料在3ng以下。而且，该场合下，透气性支撑材料优选实质上是由选自聚酯和聚酰胺中至少一种材料形成的。另外，本专利技术的过滤器过滤材料(2)是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的空气过滤器过滤材料，其中，上述透气性支撑材料在80℃的条件下(采用下文定义的测定方法)检测出的有机物总量优选为，每250mg透气性支撑材料在1000ng以下(下限为检测临界值，优选为0)。而且，该场合下，透气性支撑材料优选实质上由选自聚酯和聚酰胺中的至少一种材料形成。特别优选实质上由聚酯材料构成。而且，该场合下，透气性支撑材料采用下文定义的试验方法测定的高温加压耐久度优选为0～15.0。上述高温加压耐久度进一步优选为0～8.0，特别优选为0～5.0。另外，本专利技术的过滤器过滤材料(3)是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的空气过滤器过滤材料，其中，上述透气性支撑材料的高温加压耐久度优选为0～15.0。已经发现，上述高温加压耐久度越低，TOC发生越少。本专利技术中的透气性支撑材料，采用下文定义的试验方法测定的高温加压耐久度为0～15.0，优选为0～8.0，特别优选为0～5.0。而且，该场合下，透气性支撑材料优选实质上由选自聚酯和聚酰胺中的至少一种材料形成。特别优选实质上由聚酯材料构成。另外，本专利技术的过滤器过滤材料(4)是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的空气过滤器过滤材料，其中，上述透气性支撑材料优选实质上选自聚酯和聚酰胺中的至少一种材料。进一步地，透气性支撑材料优选实质上由聚酯材料构成，特别优选实质上由聚酯材料形成，并且为不含聚烯烃的材料。而且，该场合下，上述高温加压耐久度优选为0～15.0。优选为0～8.0，特别优选为0～5.0。也就是说，发现在各种聚酯材料、聚酰胺材料中，如果上述高温加压耐久度处于上述范围内，就能够得到作为本专利技术目的的TOC发生少的过滤器过滤材料。应予说明本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：井上治，茶圆伸一，浦冈伸树，楠见智男，浅野纯，平野诚一，原聪，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：发明
国别省市：