【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种感测装置，尤指一种利用漩涡电流(Eddy Current)感知器以感测待测物的感测装置。
技术介绍
随着科技的进步，电子组件也越来越精密，许多电子组件在制造过程中都需要经过检测，然而其中的部份电子组件由于轻、薄、脆弱或需要在行进间动态测试等因素，必须选择非接触性的检测方式，时下热门的太阳能电池制程中，封装前段作业的晶圆检测筛选即是典型的例子。而现有技术中一般所利用的漩涡电流传感器技术，已知可以检测的参数有电阻值、电阻率、厚度、距离，然而其缺点在于无法分离漩涡电流传感器的变量，因而现存的漩涡电流感测技术无法精确的独立检测单一参数，在实际检测中仅能假设其它影响因子皆为常数，以进行单一参数的量测。然而，在现实检测环境中，许多影响因子并非常数，例如设备的些微震动即可能改变既定的量测距离，因而影响厚度以及电阻率等相关参数，若不解决此一问题则无法精确的量测。因此，目前市售的半导体产线筛选量测仪器均额外加装测距感知器，解决此一问题，但待测物因加装的测距感知器会偏离原本的漩涡电流传感器的轴线，测距感知器与漩涡电流传感器的位置关联性降低，又待测物的粗糙表面会影响...
【技术保护点】
１．一种感测装置，用以在一待测物沿一路径位移而产生震动时，感测该待测物，据以将该待测物的一第一电气信号与一第二电气信号传送至一运算模块，其特征在于，该感测装置包括：一第一漩涡电流感知器，设置于该待测物于该路径上的一侧，该第一漩涡电流感知器并发出一第一原生磁场，藉以使该待测物产生一第一再生逆向磁场，该第一漩涡电流感知器还接收该第一再生逆向磁场，据以转换出该第一电气信号，并将该第一电气信号传送至该运算模块；以及一第二漩涡电流感知器，设置于该待测物于该路径上的另一侧，该第二漩涡电流感知器并发出一第二原生磁场，藉以使该待测物产生一第二再生逆向磁场，该第二漩涡电流感知器还接收该第二再...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄雪樵，廖佑崧，张欣仪，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：32
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