过滤模块制造技术

本发明专利技术提供了一种净化模块，其包括多个净化筒、用于过滤筒的支架、歧管和碗状部。在一个实施例中，用于过滤筒的支架在相反表面上具有两个倾斜的局部螺齿，当局部螺齿被旋转进入螺纹时，所述局部螺齿与歧管上的局部螺纹相配合。支架包括流体通道，用于引导已经过滤的流体从过滤筒通过支架并进入歧管。在另一个实施例中，提供了一种净化模块，其包括净化筒、歧管和碗状部。净化筒在过滤筒出口的相反表面上具有两个倾斜的局部螺齿，当局部螺纹被旋转进入相配的螺纹时，所述局部螺齿与歧管上的螺纹相配合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】过滤模块本申请要求享有2005年7月11日提交的日本专利申请 No. 2005-201780的优先权、以及2005年7月11日提交的美国临时申请 No. 60/698267的优先权，上述每个申请的全部内容在此引入作为参考。
技术介绍
诸如在半导体工业中的过滤处理中，对微粒污染物的控制要求使用 具有能去除亚微米微粒的膜的超净过滤器。公知的是，当微粒足够大时， 沉积在半导体晶片的任何微粒都会引起缺陷。在半导体工业中，故障缺 陷可能是只有半导体芯片最小特征十分之一大小的微粒引起。因此，膜 过滤器被用于生产半导体芯片的许多处理步骤中，以净化工作液体和气 体。尽管已经对在超纯液体过滤时使用的过滤模块提出了许多不同的设 计，然而普遍采用的有两种设计。在一种模块设计中，待过滤的液体从 过滤模块的一端流向另一端。在这种过滤模块的情况下，供给和渗透连 接位于过滤器的相反端部，从而使液体流从一端移动到另一端。这样的 流动形态被称为直线流动形态。这样的过滤模块存在两个缺点。第一，由于模块被夹在两组连接之间，因此难以将它们连接到处理设备上。第 二，由于至少一个连接被布置在模块的底部，因此随着模块断开连接， 保持在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备，包括：　　　　歧管和以不漏液体方式连接到所述歧管一部分的碗状部，所述碗状部和歧管装有安装到支架上的净化膜，所述支架具有膜支撑部分和支架出口，所述支架出口装配在歧管出口管道的内部，所述支架出口具有两个或更多个倾斜结构，所述倾斜结构通过所述支架转动大约９０度或更少与所述歧管出口管道的倾斜相配结构啮合，以在所述支架与所述歧管之间形成不漏液体密封。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木靖二，E麦克纳马拉，T托尔，
申请(专利权)人：安格斯公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]