连续的气体饱和系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种用液体化学品的蒸汽饱和气体的系统及方法。所说的系统包括：（ａ）用于接收液体化学品和载气的饱和容器；（ｂ）在饱和容器中用来将载气喷射到液体化学品中的气体喷射器；（ｃ）用于将液体化学品在饱和容器中保持为基本上恒定含量的装置；（ｄ）用于将液体化学品在饱和容器中的温度控制到所需值的装置，包括（ｉ）用于冷却液体化学品的系统和（ｉｉ）位于饱和容器内部用于加热液体化学品的加热器，该加热器在液体中垂直延伸液体化学品液面高度的至少一半的距离；和（ｅ）用于将饱和气体的压力控制到所需值的装置。本发明专利技术还涉及控制传送汽化液体化学品的新方法与系统。本发明专利技术特别适用于半导体制造工业。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本申请要求保护临时申请60/076,294(1998.2.27提交)的权利，该申请的全部内容结合至此作为参考。本专利技术涉及用来自液体化学品的蒸汽饱和气体的新系统及方法。本专利技术还涉及控制运送汽化的液体化学品的新系统及方法。本专利技术特别适用于半导体制造工业。在半导体制造工业中，要将高纯度气体提供给加工工具来完成各种半导体制造工艺。这种工艺的实例包括扩散、化学蒸汽淀积(CVD)、蚀刻、溅射和离子注入。已知使用挥发性液体作为这些工艺的反应源。例如，这些液体包括硅烷(SiH4)、二氯硅烷(SiH2Cl2)、三氯硅烷(SiHCl3)、氨(NH3)、三氯化硼(BCl3)、氯气(Cl2)、氯化氢(HCl)、氟化氢(HF)和三氟化氯(ClF3)。迄今，已使用了很多方法将汽化形式的挥发性液体化学品提供给加工设备。其中包括用液体化学品的蒸汽饱和载气的方法以及不用载气的蒸发液体化学品的方法。用化学品蒸汽饱和载气的已知方法例如包括，将液体化学品直接注射到载体气流中。还已知将载气鼓泡经过液体化学品，由此用化学品蒸汽饱和气体。在使用载气的方法中，化学品蒸汽在载气中的浓度受很多因素的影响。例如气泡大小、即气泡本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用液体化学品的蒸汽饱和气体的系统，该系统包括：（ａ）连接接收液体化学品和载气的饱和容器；（ｂ）在饱和容器中用来将载气喷射到液体化学品中的气体喷射器；（ｃ）用于在饱和容器中将液体化学品保持为基本上恒定含量的装置；（ｄ）用于 将液体化学品在饱和容器中的温度控制到所需值的装置，包括（ｉ）用于冷却液体化学品的系统和（ｉｉ）位于饱和容器内部用于加热液体化学品的加热器，该加热器在液体中垂直延伸液体化学品液位高度的至少一半的距离；（ｅ）用于将饱和气体压力控制到所需值的 装置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：DB努密，
申请(专利权)人：液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司，
类型：发明
国别省市：FR[法国]