引红片制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种引红片，包括石墨本体，所述石墨本体的下表面与硅芯母料接触，所述下表面平整。本实用新型专利技术实施例提供的引红片，通过采用石墨制作的引红片，由于石墨具有良好的传热性能，使引红用籽晶的热量能够迅速的通过石墨片传递给硅芯母料，从而加快了化料的速度，缩短了化料过程的时间，提高了硅芯的生产效率，并且，由于本实用新型专利技术实施例中的引红片与硅芯母料接触的表面平整，从而使引红片放置在硅芯母料上时，稳定性大大增强，使得在化料过程中，该引红片不易从硅芯母料顶端脱落，保证了硅芯拉制过程的正常进行。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造
，更具体地说，涉及一种用于拉制硅芯的引红片。
技术介绍
多晶硅是制备半导体器件和太阳能电池的原材料，是全球电子工业及光伏产业的基石，目前制备多晶硅主要采用改良的西门子法，而硅芯是生产多晶硅的载体。现有技术中拉制硅芯的方法有很多，常用的有表面区熔法，简称FZ法。在采用FZ法拉制硅芯的过程中，首先需要将硅芯母料上端约Icm左右高度的固态硅料加热到熔融状态(该过程简称化料过程)，之后才可以采用拉制硅芯用的籽晶来进行硅芯的拉制。现有技术中的化料过程为将拉制硅芯用的籽晶和引红用的籽晶安装在籽晶夹头上，引红用的籽晶比拉制硅芯用的籽晶要长一点，先采用加热线圈加热引红用籽晶的下端，直至将引红用籽晶的末端加热至熔融状态，形成一熔球，之后使熔球与放置在母料上端的引红片相接触，通过加热线圈的热量和熔球的温度同时作用于引红片上，使引红片加热到暗红状态，之后利用引红片的热量将硅芯母料上端约Icm左右高度的固态硅料加热到暗红状态，之后采用倒料棒将引红片于硅芯母料分离，采用加热线圈加热硅芯母料上端约 Icm左右高度的固态硅料，使其完全熔化，以达到拉制硅芯的基本要求。其中，所述引红片为本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种引红片，其特征在于，包括石墨本体，所述石墨本体的下表面与硅芯母料接触，所述下表面平整。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王耀挺，李峰，胡永，杨光军，侯俊峰，
申请(专利权)人：国电宁夏太阳能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：64