一种热固化设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种热固化设备，其包括热固化腔体，其中，所述热固化设备中还包含有与所述热固化腔体连通的工艺气体管路(3)，所述工艺气体管路(3)中流通有工艺气体，所述工艺气体管路(3)外还设置有对工艺气体进行加热的工艺气体预热热源，所述工艺气体预热热源采用电磁感应气体加热热源。本实用新型专利技术提供的热固化设备可提高设备热固化腔体内温度均匀性，减少设备升温和降温消耗的时间，提高热利用效率，降低设备能耗。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于显示器制造
，具体涉及一种热固化设备。
技术介绍
目前，在液晶显示器件制造过程中，对于取向层(PI :polyimide)的主固化设备普遍应用电阻丝红外辐射加热的方式，加热涂覆取向层的玻璃基板，使液晶取向层固化。在薄膜场效应晶体管液晶显示器(TFT-LCD)制造工艺中取向层(PI =Polyimide) 的制作是核心工艺。取向层的作用是使液晶分子获得一定的预倾角(Pretilt Angle)，以防止在液晶盒内部出现畴结构，产生向错，从而影响液晶器件的性能和显示质量。液晶取向工艺流程包括清洗；涂膜，在玻璃基板上覆盖一层无机物膜或者有机物膜，即采用选择涂覆的方法，在玻璃基板上的适当位置涂一层均勻的取向材料；预烘，将取向材料中的溶剂加热使之挥发，留下固体的取向材料膜层；固化，通过高温处理使取向层固化；摩擦取向；清洗。针对液晶取向层固化工艺所采用的热固化设备，其加热原理普遍是利用电阻丝红外辐射加热的方式来加热涂覆取向层的玻璃基板，使取向层固化。但是，这种利用电阻丝红外辐射加热的方式由于电阻丝本身具有升温慢、电能不能全部转换为热能的缺点，而导致热固化设备升温和降温所需时间长，热利用率低，能耗高，温度均勻性低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种可减少设备升温和降温时间的热固化设备。解决本技术技术问题所采用的技术方案是该热固化设备包括热固化腔体，其中所述热固化设备中还包含有与所述热固化腔体连通的工艺气体管路，所述工艺气体管路中流通有工艺气体，所述工艺气体管路外还设置有对工艺气体进行加热的工艺气体预热热源，所述工艺气体预热热源采用电磁感应气体加热热源。优选的是，所述电磁感应气体加热热源包括由金属材料制成的工艺气体管路、包覆在工艺气体管路外壁上的绝缘隔热层、以及能够产生高频交变磁场的电磁感应线圈，所述电磁感应线圈缠绕在绝缘隔热层外。优选的是，所述工艺气体管路采用含有氧铁材质的金属材料制成。优选的是，所述含有氧铁材质的金属材料为不锈钢材料。优选的是，所述电磁感应线圈的工作频率为IOKHz 99KHz。其中，所述电磁感应气体加热热源采用一个电磁感应气体加热热源，该电磁感应气体加热热源与热固化腔体连通；或者所述电磁感应气体加热热源采用平行设置的多个电磁感应气体加热热源，各个气体电磁感应加热热源分别与热固化腔体连通。优选的是，所述电磁感应线圈连续排布或分段式排布在绝缘隔热层上。其中，所述工艺气体为氮气或洁净空气。优选的是，所述电磁感应气体加热热源中还包括有电磁屏蔽层，所述电磁屏蔽层包覆在电磁感应线圈之外。所述电磁屏蔽层采用一种或多种导电材料制成。优选所述导电材料为金属壳、金属喷涂材料、导电膜层、导电涂料层或导电布。优选的是，所述热固化设备中包括有电磁屏蔽装置，所述电磁屏蔽装置包括包覆在热固化腔体外部的金属外壳和与所述金属外壳相连的电磁消除装置，所述电磁屏蔽层与所述电磁消除装置相连，所述电磁消除装置包括一根与电源零线相接的连接线，或者所述电磁消除装置包括一根与设备地线相接的连接线。优选的是，所述热固化腔体的内部设置有热固化腔体热源，所述热固化腔体热源采用电磁感应加热热源。其中，所述电磁感应加热热源可包括金属加热板和能够产生高频交变磁场的内部电磁感应线圈，所述内部电磁感应线圈设置在所述金属加热板的内部。优选的是，所述金属加热板采用含有氧铁材质的金属材料制成。进一步优选所述含有氧铁材质的金属材料采用不锈钢材料。优选所述内部电磁感应线圈的工作频率为IOKHz 99KHz。其中，所述电磁感应加热热源采用平行设置的多个电磁感应加热热源，所述每个金属加热板内部设有若干个内部电磁感应线圈，采用这种结构的设备可便于安装；或者所述电磁感应加热热源采用平行设置的多组电磁感应加热热源，每组中又包括有并排设置的多个电磁感应加热热源，所述每个电磁感应加热热源中的金属加热板内设置有一个内部电磁感应线圈，采用这种结构的设备便于进行维修。考虑到电磁辐射对人身和其他设备的危害，优选所述热固化设备中还包括有电磁屏蔽装置，所述电磁屏蔽装置包括包覆在热固化腔体外部的金属外壳和与所述金属外壳相连的电磁消除装置。优选所述电磁消除装置包括一根与电源零线相接的连接线，或者所述电磁消除装置包括一根与设备地线相接的连接线。所述金属外壳与所述电磁消除装置相连，使得热固化腔体热源所产生的电磁辐射通过所述金属外壳吸收，然后经过电磁消除装置进行接地排放消除。本技术所述的热固化设备中的工艺气体预热热源和热固化腔体热源均采用电磁感应加热装置，其原理为交流电经过整流器后变为直流电，直流电经高频电流转换器转换为高频交流电，再将高频交流电加在电磁感应线圈上，由此产生高频交变磁场，其磁力线作用在含氧铁材质的材料上产生交变的电流(即涡流)，涡流使铁分子高速无规则运动， 分子互相碰撞、摩擦而产生热能。本技术热固化设备克服了采用红外热辐射加热装置的热固化设备存在的加热效率低、升温和降温时间长、能耗高、温度均勻性低等缺陷，将红外热辐射加热装置转变为电磁感应加热装置后，该热固化设备加热快速、可提高设备热固化腔体内的温度均勻性， 设备的升温和降温时间短、有效提高了热利用效率，降低设备能耗、具有高效、节能、温度均勻性好等优点。附图说明图1为本技术实施例1中热固化设备的结构示意图；图2为图1所示实施例中采用一个电磁感应气体加热热源的工艺气体预热热源的放大结构示意图；图3为图1所示实施例中采用整体式结构的热固化腔体热源结构示意图；图4为本技术实施例2中热固化设备采用多个电磁感应气体加热热源并列连接的工艺气体预热热源的结构示意图；图5为本技术实施例2中热固化设备采用分体组合式结构的热固化腔体热源的结构示意图。图中1-电磁屏蔽层；2-绝缘隔热层；3-工艺气体管路；4-电磁感应线圈；5-热固化腔体热源；6-电磁消除装置；7-内部电磁感应线圈；8-缺口 ；9-玻璃基板；10-支撑柱；11-金属加热板。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，以下结合附图和具体实施方式对本技术热固化设备作进一步详细描述。实施例1 如图1所示，本实施例中，该热固化设备包括热固化腔体和工艺气体管路3。所述热固化腔体的内壁上预留有缺口 8，工艺气体管路3通过所述缺口 8与热固化腔体连通，所述工艺气体管路内流通有工艺气体，所述工艺气体通过工艺气体管路3流经所述缺口后进入热固化腔体内部。所述工艺气体可采用氮气或洁净空气，工艺气体在热固化腔体内循环后流出，并带走在液晶取向层热固化工艺反应中生成的NMP(甲基吡咯烷酮)、GBL(伽玛丁内酯)及水分。所述热固化设备中包括有用于提前加热工艺气体的工艺气体预热热源，所述工艺气体预热热源采用电磁感应气体加热热源，通过电磁感应生热从而加热流经工艺气体管路 3的工艺气体。如图2所示，所述电磁感应气体加热热源包括由金属材料制成的工艺气体管路3、 包覆在工艺气体管路3外壁上的绝缘隔热层2、以及能够产生高频交变磁场的电磁感应线圈4，电磁感应线圈4缠绕在绝缘隔热层2外。所述工艺气体管路3采用含有氧铁材质的金属材料制成，如不锈钢。根据工艺条件不同，电磁感应线圈4可以设计成连续式排布或分段式排布在本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种热固化设备，包括热固化腔体，其特征在于所述热固化设备中还包含有与所述热固化腔体连通的工艺气体管路（３），所述工艺气体管路（３）中流通有工艺气体，所述工艺气体管路（３）外还设置有对工艺气体进行加热的工艺气体预热热源，所述工艺气体预热热源采用电磁感应气体加热热源。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李钊，罗会月，赵成明，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11