【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体领域，尤其是涉及用于晶锭加工所形成的蓝宝石粉的回收方法。
技术介绍
蓝宝石具有很好的热导性，极好的电气特性和介电特性，光透性能强，且耐摩擦、 耐腐蚀、化学性质稳定，其硬度达到莫氏9级，仅次于金刚石，熔点高于2000摄氏度，在高温下仍具有极好的稳定性。所以蓝宝石被广泛地应用于工业、国防、科研、民用等领域。在用于制备半导体元件例如发光二极管(LED)时，需要对蓝宝石晶锭进行切割成晶片，而在切割的过程中，材料损失很大。如果采用金刚石线锯进行切削，在切削砂浆中还会有少量昂贵的金刚石粉末，这些金刚石粉末也会随着切削砂浆的废弃而浪费掉。目前在半导体领域还没有合适的蓝宝石粉回收工艺。
技术实现思路
为此，本专利技术的一个目的在于提出一种回收效率高的用于晶锭加工所形成的蓝宝石粉的回收方法。将金刚石线锯用于蓝宝石晶锭的切割是最近才有所大批量应用，因此对金刚石线锯切削蓝宝石晶锭时所产生的切削砂浆中的蓝宝石粉和金刚石粉的回收尚未有成熟的技术，需要全新开发合适的蓝宝石粉和金刚石粉回收技术。本专利技术是基于专利技术人的下列发现进行的在利用金刚石线锯切割蓝宝石晶锭时，形成的...
【技术保护点】
１．一种用于晶锭加工所形成的蓝宝石粉的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：（１）将所述蓝宝石粉与分散介质混合，形成分散悬浮液；（２）将所述分散悬浮液进行固液分离得到经过分散的蓝宝石粉，并将所述经过分散的蓝宝石粉进行干燥，获得干燥而且分散的蓝宝石粉；以及（３）对所述干燥而且分散的蓝宝石粉进行选自电选和磁选的至少一种的处理，以分离获得蓝宝石粉和含有金刚石粉末的杂质粉末。
【技术特征摘要】
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