一种光伏产业专用多点式测温热电偶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光伏产业专用多点式测温热电偶及其制作方法，热电偶包括保护管、连接座、复合导线、插头、热电偶；所述的热电偶为3～10支，每支热电偶的长度各不相同。本实用新型专利技术采用高纯石英玻璃作为保护套管，满足了光伏产业用传感器的高温高清洁度要求，在测试温度的同时不污染高温加热环境，保证其生产产品无新的污染源；采用新的连接方式解决了炉体控温不能一体化的要求，将几个不同部位的测温点组装在同一支传感器上，安装、使用、更换都很方便。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种传感器，特别涉及一种光伏产业专用多点式测温热电偶及其 制作方法。
技术介绍
随着光伏产业的兴起，单晶硅与多晶硅的需求量不断增长，对产品的质量要求越 来越高，同时也对工艺过程中的温度控制提出了新的要求。其中扩散刻蚀中扩散炉的控 温要求温度高、精度高、受热炉体长和对炉体环境污染小等特点，成为产品生产工艺中温度 控制的难点部分。目前市面上用于半导体行业的温度传感器有spike tc (单组)、spike tc (双组)、spike控温热偶、spike埋露式热偶、profile T/C半导体设备用热偶等，由于热 电偶材料性能和结构的局限性，以上温度传感器在扩散炉的高温环境下使用都存在一定局 限性，如精度不高、安装与操作不便、一体化操作不易实现等。国内外在光伏产业单晶硅与多晶硅生产中扩散炉所使用的传感器中，绝大多数测 温核心部件采用的是S型贵金属热电偶(少量R型)。由于S型热电偶具有热电性能稳定、 抗氧化性强，使用温度范围广、均质性及互换性好等特点，在所有热电偶中标准度等级最高 而一直在扩散炉领域广泛使用，但是研究发现，在扩散炉使用环境中，Si在高温下与钼接触 容易形成共晶物硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种光伏产业专用多点式测温热电偶，包括保护管（１）、连接座（２）、复合导线（３）、插头（４）、热电偶（５），保护管（１）与连接座（２）连接，热电偶（５）置于保护管（１）的内部并固定在连接座（２）上；热电偶（５）的尾端与复合导线（３）连接，复合导线（３）与插头（４）连接；所述的热电偶（５）由热电偶丝（５１）和支撑管（５２）构成，其特征在于：所述的热电偶（５）为３～１０支，并且每支热电偶（５）的长度各不相同。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：潘勇，陈小军，刘庆宾，汪建胜，吴保安，张栋，陈兴汉，王云春，於舟，
申请(专利权)人：重庆仪表材料研究所，
类型：实用新型
国别省市：85