基于涡旋位相板的激光光束基准定标方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于涡旋位相板的激光光束基准定标方法和装置，将激光器出射的激光，通过反射镜和角锥棱镜折转光束之后，采用涡旋位相板对激光光束进行位相编码，应用平行光束的远场干涉衍射原理，编码后的平行光束中央将产生干涉暗斑作为激光光束的位置基准，且该暗斑的位置由涡旋位相板中心点决定，不随光束飘移而变化，并且不受光斑质量的影响，最终通过电荷耦合器件获取暗点中心位置。该基准可用作直线导轨直线度误差检测的基准或者监测物体二维位置变化的基准。本发明专利技术结构简单，避免引入附加误差；系统稳定性强，有利于实际应用；定位准确且不易受周围环境影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学测试领域，具体涉及一种基于涡旋位相板的激光光束基准定标方 法和装置。
技术介绍
由于激光具有方向性好、单色性强、能量集中等特点，随着科学技术的发展，目前 在显微观测、距离测量、光存储、数据传输等领域，得到了越来越广泛的应用。在很多实际应 用中，往往需要使用各种位置敏感器件接收激光光束光斑信号，获取激光光斑的相对位置 信息，进而产生反馈或测试信号，达到系统目的。由于激光光斑的在位置敏感器件表面不可 能呈现为理想像点，而是有一定面积大小的光斑，因此，必须采用技术手段指定光斑内特定 点作为光斑的位置基准。常用的作为光束位置基准的点包括几何中心点或光强最强点两种 方式。然而当激光光斑被部分遮挡或者位置敏感器件位置与光束方向不垂直时，上述两种 方式往往不能得到稳定的基准；之后，也有研究人员使用光斑“能量重心点”即光斑内光强 平均中心点的位置作为光束基准，这种方式虽然避免了上述问题，在实际各种以激光为光 源的设备中，由于装置振动、温度湿度差异等原因，激光光束在使用一段时间后，往往不可 避免地会产生横向位置飘移或角度倾斜现象，因此上述两种光斑基准都会随之产生偏移， 进而影响整个本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种基于涡旋位相板的激光光束基准定标方法，其特征在于，包括以下步骤：（１）将由激光光源发出的工作光束通过由单模光纤和准直镜构成的组合装置进行准直；（２）将经过准直的工作光束依次通过带有二维平移调整机构的角锥棱镜和带有二维角度调整机构的反射镜进行光路折转，调节调整机构使得所述的角锥棱镜进行二维平移和所述的反射镜进行二维转动，使经光路折转后的工作光束的出射方向与位置敏感器件垂直；（３）将０～２π涡旋位相板固定在一个带有二维平移调整机构的调节架上，调节所述的调节架，使所述的０～２π涡旋位相板的中心与经光路折转后出射的工作光束的中心重合，所述的工作光束通过０～２π涡旋位相板进行０～２π涡旋位相编码...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：匡翠方，郝翔，李旸晖，刘旭，王婷婷，库玉龙，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86