制造印板的方法和通过使用该方法来形成薄膜图案的方法技术

制造印板的方法和通过使用该方法来形成薄膜图案的方法。本发明专利技术的目的是提供用于制造可以防止形成有缺陷的薄膜图案的印板的方法，以及通过使用该方法来形成薄膜图案的方法。制造印板的方法包括以下步骤：提供具有第一区域和第二区域的底基板；在第一区域处形成具有第一深度和第一宽度的第一凹入图案并在第二区域处形成具有比第一宽度更宽的第二宽度和与第一深度相同的深度的第二凹入图案；形成用于暴露第二区域并覆盖第一区域的保护膜，所述保护膜具有粘附性；通过使用具有粘附性的保护膜，将所述第二凹入图案形成为具有比在所述第一区域处的所述第一凹入图案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除所述保护膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及制造可以防止形成有缺陷的薄膜图案的印板(clich6)的方法，以及 通过使用该方法来形成薄膜图案的方法。
技术介绍
近来已开发出可以减少重量和体积(阴极射线管的不利之处)的各种平板显示设 备。作为平板显示设备，存在液晶显示设备、场发射显示设备、等离子体显示板、电致发光EL 显示设备等。平板显示设备设置有通过掩模工艺而形成的多个薄膜，该掩模工艺包括沉积步 骤、曝光步骤、显影步骤和蚀刻步骤等。但是，由于掩模工艺是复杂的制造工艺，所以掩模工 艺增加了生产成本。因此，正在进行通过使用利用了印刷辊(printing roller)的印刷工 艺来形成薄膜的研究。印刷工艺是这样一种工艺，其中，在印刷辊的橡皮布(blanket)上涂敷印刷液，通 过使用具有凹入图案的印板在印刷辊上形成印刷液的图案，并且将印刷液的图案转印到基 板上，由此形成期望的薄膜。参照图1A，在印板10上形成与第一薄膜层匹配的第一凹入图案14和与第二薄膜 层匹配的第二凹入图案16，用于形成相同材料的具有彼此不同线宽度的第一薄膜层和第二薄膜层。参照图1B，如果印刷辊20在印板10上滚动，印刷辊20与线宽度比第一凹入图案 14大的第二凹入图案16的底表面接触A，以将印刷液22从印刷辊20转印到第二凹入图案 16的底表面，从而失去印刷液22。参照图1C，如果这样失去的印刷液22被转印到基板1，形成第一薄膜层M和在第 二薄膜层26中的没有印刷有印刷液的针孔形式的区域A，如图ID所示。具体地说，如果使 用第二薄膜层26作为黑底层或产生颜色的滤色器，则出现缺陷图案，其中在第二薄膜层沈 中的区域A处颜色消失，表现为没有颜色。
技术实现思路
因此，本专利技术旨在一种制造印板的方法，以及通过使用该方法来形成薄膜图案的 方法。本专利技术的目的是提供一种制造可以防止形成有缺陷的薄膜图案的印板的方法，以 及通过使用该方法来形成薄膜图案的方法。本公开的附加优点、目的和特征将在下面的描述中被部分描述，且部分对于本领 域普通技术人员在研究下文后变得明显，或可以通过本专利技术的实践来了解。通过说明书及 其权利要求以及附图中特别指出的结构可以实现和获得本专利技术的目的和其它优点。为了实现这些目的和其它优点，根据本专利技术的目的，如这里具体和广义描述 的那样，制造印板的方法包括以下步骤提供具有第一区域和第二区域的底基板(basesubstrate)；在所述第一区域处形成具有第一深度和第一宽度的第一凹入图案并在所述第 二区域处形成具有比第一宽度更宽的第二宽度和与第一深度相同的深度的第二凹入图案； 形成用于暴露所述第二区域并覆盖所述第一区域的保护膜，所述保护膜具有粘附性；通过 使用具有粘附性的保护膜，将所述第二凹入图案形成为具有比在所述第一区域处的所述第 一凹入图案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除所述保护膜。形成用于暴露第二区域并覆盖第一区域的具有粘附性的保护膜的步骤包括下面 步骤将保护膜粘附到具有第一区域和第二区域的底基板；和通过切割选择性地从第二区 域去除保护膜。形成用于暴露第二区域并覆盖第一区域的的具有粘附性的保护膜的步骤包括下 面步骤将在与所述第二区域对应的区域处具有开口区域的保护膜粘附到具有第一区域和 第二区域的底基板。将所述第二凹入图案形成为具有比在所述第一区域处的所述第一凹入图案的所 述第一深度更深的第二深度的步骤包括下面步骤通过使用具有粘附性的保护膜来选择性 地蚀刻第二区域。保护膜包括粘合膏和在粘合膏上形成的耐酸膜，所述耐酸膜抵抗在蚀刻中使用的 蚀刻剂。耐酸膜由聚丙烯(PPpolypropylene)、聚乙烯(PE polyethylene)、特氟纶 (teflon)或氟素树脂基(fluroricresion group)的材料形成。第一凹入图案对应于在液晶显示设备的有源区域处形成的黑底，而第二凹入图案 对应于在围绕液晶显示设备的有源区域的外部区域处形成的外部黑底。在本专利技术的另一方面中，用于形成薄膜图案的方法包括以下步骤提供印板，该印 板包括具有第一凹入图案的第一区域和具有第二凹入图案的第二区域，第一凹入图案具有 第一深度和第一宽度，第二凹入图案具有比第一深度更深的第二深度和比第一宽度更宽的 第二宽度；在印板上滚动涂敷有印刷液的印刷辊，以在印刷辊上形成具有对应于第一凹入 图案的第一线宽度的第一印刷图案和具有对应于第二凹入图案的第二线宽度的第二印刷 图案；以及在基板上印刷形成于印刷辊的第一印刷图案和第二印刷图案，其中提供印板的 步骤包括下面步骤提供具有第一区域和第二区域的底基板；在第一区域处形成具有第一 深度和第一宽度的第一凹入图案并在第二区域处形成具有比第一宽度更宽的第二宽度和 与第一深度相同的深度的第二凹入图案；形成用于暴露第二区域并覆盖第一区域的保护 膜，所述保护膜具有粘附性；通过使用具有粘附性的保护膜，将所述第二凹入图案形成为具 有比在所述第一区域处的所述第一凹入图案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除保 护膜。应当理解，本专利技术的上述一般性描述和下述详细描述是示例性和说明性的，且旨 在提供所要求保护的本专利技术的进一步解释。附图说明附图被包括以提供对本专利技术的进一步理解，并结合到本申请中且构成本申请的一 部分，这些附图示出了本专利技术的实施方式，且与说明书一起用于解释本专利技术的原理。在附图 中图IA至图ID例示了截面，这些截面示出通过使用现有技术印板的印刷工艺来形 成薄膜层的方法的步骤。图2例示了根据本专利技术的优选实施方式的用于形成薄膜图案的装置的立体图。图3例示了图2中的印板的截面。图4A至图4G例示了截面，这些截面示出用于制造图3中的印板的方法的步骤。图5详细地例示了图4E中的保护膜的平面图。图6A至图6C例示了截面，这些截面示出通过使用图4E中的保护膜的构图工艺的步骤。图7例示了用于说明在图6A或图6B中示出的保护膜的粘合膏的厚度的截面。图8例示用于切割图6C中的保护膜的切割机器的立体图。图9A至图9D例示了截面，这些截面示出通过使用图2中的印板来形成薄膜图案 的方法的步骤。图10例示了通过用于形成在图9A至图9D中示出的薄膜图案的方法的步骤而形 成的黑底的平面图。图11例示了具有通过用于形成在图9A至图9D中示出的薄膜图案的方法的步骤 而形成的薄膜图案的液晶板的平面图。具体实施例方式下面将详细描述本专利技术的具体实施方式，在附图中例示出了其示例。在可能的情 况下，在整个附图中使用相同的附图标记来代表相同或类似部件。图2例示了根据本专利技术优选实施方式的用于形成薄膜图案的印刷装置的立体图。参照图2，该印刷装置包括印刷液供应单元146、印刷辊144、橡皮布142和印板 110。印刷液供应单元146容纳印刷液，用于将印刷液供应到印刷辊144上的橡皮布 142。印刷辊144在印板110和基板101上滚动(印板110和基板101在转印单元118 上移动)，使得印刷辊144与印板110和基板101连续接触。或者，另选地，印刷辊144可 以滚动，以在印板110和基板101静止的状态下在印板110和基板101上移动，使得印刷辊 144与印板110和基板101连续接触。印刷辊144将来印刷液供应单元146印刷液充入附在印刷辊144的外周的橡皮布 142。使印板110与印刷辊144接触，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造印板的方法，该方法包括以下步骤：提供具有第一区域和第二区域的底基板；在所述第一区域处形成具有第一深度和第一宽度的第一凹入图案，并在所述第二区域处形成具有比所述第一宽度更宽的第二宽度和与所述第一深度相同的深度的第二凹入图案；形成用于暴露所述第二区域并覆盖所述第一区域的保护膜，所述保护膜具有粘附性；通过使用具有粘附性的所述保护膜，将所述第二凹入图案形成为具有比在所述第一区域处的所述第一凹入图案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除所述保护膜。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：鞠允镐，金喆镐，丁相哲，李政训，金南国，梁准咏，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]