除尘装置以及除尘系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种除尘装置以及除尘系统，能够缩短装配后通过喷吹除去内置在净化室内使用的除尘装置及其配管中的异物的时间。在清洁头（１）的壳体（１Ａ）的加压气体流入口（４２）一侧安装有内有ＨＥＰＡ过滤器（３）的过滤箱（４）而单元化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种除尘装置以及除尘系统。
技术介绍
通常，在薄型显示器等的制造中，必须要使玻璃或塑料等薄基板的表面特别清洁。 通过在所谓净化室内从清洁头相对薄基板喷出气体并立即吸入，而且在上述气体中外加超 声波等，进行从基板表面上除去极微细的粉尘的方法(例如参照专利文献1)。但是，在表示现有技术的图10以及专利文献1中，鼓风机31设置在净化室32的 外侧33，通过气体排放配管34、气体吸引配管35连接，气体排放配管34中途的过滤箱36 配设在鼓风机31的附近、净化室32的外侧33。若对现有的图10进一步进行说明，则通常从鼓风机31排放的气体中含有过多的 异物，由于不能够原封不动地在净化室32那样的(气体清洁度被控制)空间内使用，所以 使其穿过过滤箱36内的HEPA过滤器37除去亚微细粒级的异物，经由挠性软管34A ， 金属配管34B等构成的气体排放配管34向清洁头38供给。从清洁头38的下表面相对图10中双点化线所示的基板39喷出的清洁气体从并 列设置在该下表面的吸引狭缝吸引，除去附着在基板39的表面上的粉尘(异物)，经由气体 吸引配管35，并经由鼓风机31附近的其他过滤器40而向鼓风机31的吸入部流入。专利文献1特公平7-55303号公报但是，在图10所示的现有的除尘系统(除尘配管系统图)中，从鼓风机31如箭头 a所示排放的气体穿过HEPA过滤器37而能够充分净化，但内存在该图中粗虚线所示的部位 的异物除了通过装配后的喷吹而除去之外别无良策。即，预先内存在粗虚线所示的挠性软 管34A*，金属配管34B*，清洁头38内的异物要通过数日 十数日喷吹才能够完 全除去。进而，每次更换挠性软管34A等也需要同样长时间的喷吹。假设未充分喷吹即结 束，则既污染净化室32的环境也污染制品(基板39)。
技术实现思路
因此，本专利技术所涉及的除尘装置是在清洁头壳体的加压气体流入口一侧具备内有 HEPA过滤器的过滤箱。而且，在清洁头壳体的加压气体流入口一侧装卸自如地安装有内有HEPA过滤器 的过滤箱。而且，壳体和过滤箱是一体成型的。而且，本专利技术所涉及的除尘系统是在清洁头的壳体的加压气体流入口一侧具备内 有HEPA过滤器的过滤箱的除尘装置设置在净化室的内侧，并且在净化室的外侧设置鼓风 机，通过循环气体配管连接该鼓风机和上述除尘装置。而且，在清洁头的壳体的加压气体流入口一侧装卸自如地安装有内有HEPA过滤 器的过滤箱的除尘装置设置在净化室的内侧，并且在净化室的外侧设置鼓风机，通过循环 气体配管连接该鼓风机和上述除尘装置。而且，壳体和过滤箱是一体成型的。根据本专利技术，能够省略HEPA过滤器和清洁头之间的所有配管，仅通过清洁头自身 的(装配之后的)喷吹进行的异物除去即可，能够实现显著地缩短喷吹时间。附图说明图1是表示本专利技术所涉及的除尘系统的实施方式的结构说明图。图2是表示除尘装置的实施方式的主视图。图3是俯视图。图4是图2的G-G剖面图。图5是主要部分的主视图。图6是主要部分的仰视图。图7是图5的J-J剖面图。图8是表示除尘装置的其他实施方式的主视图。图9是图8的N-N剖面图。图10是表示现有例子的配管系统图。附图标记说明1 清洁头1A:壳体3 :HEPA 过滤器4 过滤箱5 鼓风机10:除尘装置15:循环气体配管42:加压气体流入口C 净化室具体实施例方式以下，基于图示的实施方式对本专利技术进行详细说明。在图1中，C表示净化室，在该净化室C内配设有清洁头1，通过从清洁头1喷出以 及吸入的气体的喷流、或者进而外加超声波或产生离子而从薄型显示器等玻璃、塑料、金属 等薄基板2的表面上除去粉尘等异物而对其进行清洗。而且，在该清洁头1的壳体1A的加 压气体流入口一侧设置内有HEPA过滤器3的过滤箱4，(作为带有HEPA过滤器的单元)构 成除尘装置10，配设在上述净化室C的内侧。在净化室C的外侧配设气体循环驱动单元11。驱动单元11例如通过在基座12上 设置鼓风机5和阀类6、内有PRE过滤器7的过滤箱8、电气控制器9、以及成为排放配管的 一部分的柔性软管13、成为吸引配管的一部分的柔性软管14等构成。这样一来，鼓风机5设置在净化室C的外侧。而且，通过循环气体配管15连接该 鼓风机5和除尘装置10。若具体地对该循环气体配管15进行说明，则在图1中，鼓风机5的排放部16和过滤箱4的送入管部17、17通过排放配管18连接(连通联结)。而且，清洁头1的回流管部 19、19和鼓风机5的吸入部20通过中途加装了过滤箱8的回路配管21连接(连通联结)。 因此，上述循环气体配管15由排放配管18和回路配管21构成。另外，排放配管18由前述 的柔性软管13，除此之外的柔性软管22、23、24，以及金属配管25、25、25等构成。而且，回 路配管21由前述的柔性软管14，除此之外的柔性软管26、27、28，以及金属配管29、29、29 等构成。另外，排放配管18在内有HEPA过滤器3的过滤箱4的附近分支，并分别向两条送 入管部17、17连通联结。而且，回路配管21是清洁头1的两个回流管部19、19从中途合流 而成的。如图2 图7中具体地图示那样，清洁头1的壳体1A是左右细长的四边箱形，过 滤箱4也是左右细长的四边箱形。并且，壳体1A和过滤箱4重叠，通过联结锁(开闭夹)30 联结成上下一体状，并且相互装卸自如。即，内有HEPA过滤器3的过滤箱4装卸自如地安 装在清洁头1的壳体1A的加压气体流入口 42—侧。将壳体1A和过滤箱4的(前后方向) 厚度尺寸D设定成相等，并且将左右长度尺寸L设定成相等。这样一来，在壳体1A和过滤 箱4重叠并通过联结锁30锁定的状态下，前壁面和后壁面分别形成相同的平坦状的垂直平 面，从而形成一体单元状的箱形。如图4所示，在清洁头1的壳体1A的天井壁面(上壁面)上(左右细长的矩形 地)开设有加压气体流入口 42，上述的过滤箱4装卸自如地安装在清洁头1的壳体1A的加 压气体流入口 42 —侧。而且，如图6所示，在过滤箱4的底壁面4A上开设有加压气体送出 窗43、43，作为与上述加压气体流入口 42完全相同的尺寸、形状或者大致相同的尺寸、形状 而对应地堆栈。另外，优选地是在底壁面4A与壳体1A的天井壁面的抵接对应部位加设气密用密 封垫。在图2 图7中，HEPA过滤器3内设成占据过滤箱4的内部空间4C的下半部分，在 上半部分形成气体流路部44，使从左右的送入管部17、17流入的加压气体左右均等地穿过 HEPA过滤器3 (参照图4中的箭头E)。图4，在壳体1A的底壁面45上其前后宽度方向中央位置开设有喷出狭缝46，在其 喷出狭缝46的前后开设有吸引狭缝47、47，沿着箭头E方向穿过了前述HEPA过滤器3的 清洁的加压气体从喷出狭缝46喷出，在喷到沿着箭头K方向输送的基板2等被清洁物的上 表面上后立即从吸引狭缝47、47吸入，在流入由间隔壁48、48在壳体1A的内部间隔形成的 吸引室49、49后向垂直于图4的纸面的方向流动，并从图1和图2的(左右端)回流管部 19、19向箭头F方向流去。在本专利技术中，“HEPA过滤器”是指“能够除去亚微细粒级的异物的超微粒子除去用 过滤器”，特别是定义为包含ULPA过滤器。而且，通过HEPA过滤器，流入除去0. 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种除尘装置，其特征在于，在清洁头（１）壳体（１Ａ）的加压气体流入口（４２）一侧具备内有ＨＥＰＡ过滤器（３）的过滤箱（４）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宇泽启，
申请(专利权)人：株式会社伸兴，
类型：发明
国别省市：JP[日本]