生化感测装置及其制造方法制造方法及图纸

一种生化感测装置及其制造方法，其中该装置包括：一第一半导体层，位于一内连结构之上；多个感测元件，设置于第一半导体层内；一光学滤光层，形成于第一半导体层之上并实体接触第一半导体层；一第二半导体层，设置于光学滤光层之上，具有相对的第一表面与第二表面，其中第一表面实体接触光学滤光层；多个隔离墙，形成于第二半导体层的第二表面上，并在第二半导体层上定义形成了多个微阱区，其中多个隔离墙与第二半导体层包括相同材料，且多个微阱区与多个感测元件对应地设置；一固定层，设置在为多个微阱区所露出的第二半导体层上；以及多个捕捉分子，形成于多个微阱区内的固定层上。本发明专利技术具有较坚固的微阱区结构及较高的荧光收集效率。

Biochemical sensing device and manufacturing method thereof

A biochemical sensing device and manufacturing method thereof, wherein the device comprises a first semiconductor layer in an interconnection structure; a plurality of sensing element is disposed on the first semiconductor layer; an optical filter layer, formed on the first semiconductor layer and a semiconductor layer contacting the first entity; a second semiconductor layer. Set in the optical filter layer has a first surface and a second surface opposite the first surface, solid contact optical filter layer; a plurality of wall second formed on the surface of the second semiconductor layer, and a second semiconductor layer formed on the definition of a plurality of micro well region, wherein a plurality of wall and a second semiconductor layer including the same material, and a plurality of micro well region and a plurality of sensing elements are correspondingly arranged; a fixing layer, is arranged on the second semiconductor layer exposed to multiple micro wells; and A plurality of trapping molecules are formed on a fixed layer in a plurality of micro trap regions. The invention has relatively strong micro well area structure and high fluorescent collecting efficiency.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种生化感测装置(biosensor devices)，特别是涉及具有坚固微阱 区结构(robust micro-well structures)与用于接收来自于基板背侧照射光线的感测元 件的一种。
技术介绍
目前于生化领域中，需要能提供快速分离、微量的细胞组织、基因材料与有机分子 的检测以及排序等研究、疾病诊断或特定方面应用的可靠与低成本的分析装置。如去氧核 糖核酸(DNA)分析装置的生化分析装置已可有效地检测与辨别病毒、细菌及其他微生物， 且对于分辨基因失序问题也已为不可或缺的装置。针对具有高度明确性的DNA的检测能力 使得其适用于RNA与DNA片段的准确分离，而应用于上述片段检测的适当标记化学品以及 特定高感测度的感测器的采用而言，所采用的标记化学品皆为特殊的标记化学品。另外，对 于显示诊断上细胞的显著缺陷而言，DNA检测技术也为不可或缺的，无论上述细胞是得自于 一实验对象或为具传染性的微生物。微型化生化分析装置需求的成长与微型化电子装置的需求成长一致。如微处理器 装置的微小化等众多相同技术准则已足以将化学实验室的功能整合于单一装置之内，并接 着将上述装置的尺寸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种生化感测装置，包括：一内连结构；一第一半导体层，位于该内连结构之上；多个感测元件，设置于该第一半导体层内；一光学滤光层，形成于该第一半导体层之上并实体接触该第一半导体层；一第二半导体层，设置于该光学滤光层之上，具有相对的第一表面与第二表面，其中该第一表面实体接触该光学滤光层；多个隔离墙，形成于该第二半导体层的该第二表面上，并在该第二半导体层上定义形成了多个微阱区，其中所述多个隔离墙与该第二半导体层包括相同材料，且所述多个微阱区与所述多个感测元件是对应地设置；一固定层，设置在为所述多个微阱区所露出的该第二半导体层上；以及多个捕捉分子，形成于所述多个微阱区内的该固定层上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈毅修，许中荣，
申请(专利权)人：采钰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]