【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及测量入射光的特性的光滤波器、使用该光滤波器的特性测量方法、具 备该光滤波器的分析设备以及具备该光滤波器的光设备。
技术介绍
以往，公知有如下的一种波长可变干涉滤波器，其具备隔着间隙对置配置的一对 反射膜，通过使该间隙的尺寸变化，从入射光中使希望波长的光分光(例如，参照专利文献 1)。该专利文献1所记载的波长可变干涉滤波器具有一对基板和在该一对基板的彼 此对置的面上分别设置的一对多层膜(反射膜)。另外，在该波长可变干涉滤波器的一对反 射膜上分别形成有静电驱动电极，通过对该静电驱动电极施加电压，可以调整间隙的间隔。专利文献1 日本特开平11-142752号公报。然而，在具备如上述专利文献1所记载的波长可变干涉滤波器的分光测量装置 中，通过切换施加在波长可变干涉滤波器的静电驱动电极上的电压来切换被分光的光的波 长，从而测量各个被分光的光的光量。此时，若将对静电驱动电极施加的电压从高电压切换 到低电压，则存在一对反射膜的间隙的间隔达到所希望的值为止的时间较长的问题。即，静 电驱动电极的静电引力F如以下的式(1)所示，由施加电压与一对静电驱动电极间的间隔 (...
【技术保护点】
１．一种光滤波器，其特征在于，具备：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差，当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差。
【技术特征摘要】
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