光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备技术

本发明专利技术涉及光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备，该光滤波器具备：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差，当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测量入射光的特性的光滤波器、使用该光滤波器的特性测量方法、具 备该光滤波器的分析设备以及具备该光滤波器的光设备。
技术介绍
以往，公知有如下的一种波长可变干涉滤波器，其具备隔着间隙对置配置的一对 反射膜，通过使该间隙的尺寸变化，从入射光中使希望波长的光分光(例如，参照专利文献 1)。该专利文献1所记载的波长可变干涉滤波器具有一对基板和在该一对基板的彼 此对置的面上分别设置的一对多层膜(反射膜)。另外，在该波长可变干涉滤波器的一对反 射膜上分别形成有静电驱动电极，通过对该静电驱动电极施加电压，可以调整间隙的间隔。专利文献1 日本特开平11-142752号公报。然而，在具备如上述专利文献1所记载的波长可变干涉滤波器的分光测量装置 中，通过切换施加在波长可变干涉滤波器的静电驱动电极上的电压来切换被分光的光的波 长，从而测量各个被分光的光的光量。此时，若将对静电驱动电极施加的电压从高电压切换 到低电压，则存在一对反射膜的间隙的间隔达到所希望的值为止的时间较长的问题。即，静 电驱动电极的静电引力F如以下的式(1)所示，由施加电压与一对静电驱动电极间的间隔 (对置电极间距离)的函数表示。权利要求1.一种光滤波器，其特征在于，具备第一基板；与所述第一基板对置的第二基板； 设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜； 设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及 电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差， 当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波 长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所 述第一电位差大的第二电位差。2.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，设定为所述第二电位差的期间比设定为所述第一电位差的期间长。3.根据权利要求1或者2所述的光滤波器，其特征在于，所述电压控制部，当设定为所述第一电位差时对所述第一电极施加第一电压；当设定 为所述第二电位差时对所述第一电极施加第二电压， 所述第一电压是第一直流电压， 所述第二电压是第二直流电压。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的光滤波器，其特征在于，具备 受光部，其接收透过所述第一反射膜及所述第二反射膜后的光；和 测量部，其对所述受光部接收到的所述光的受光量进行测量，所述测量部，当设定为所述第一电位差时对透过所述第一反射膜及所述第二反射膜后 的第一光的受光量进行测量；当设定为所述第二电位差时对透过所述第一反射膜及所述第 二反射膜后的第二光的受光量进行测量。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光滤波器，其特征在于，所述电压控制部还可以将所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差设定为比 所述第二电位差大的第三电位差，并且从所述第二电位差切换到所述第三电位差，所述第二电位差与所述第三电位差之差的绝对值比所述第一电位差与所述第二电位 差之差的绝对值小。6.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光滤波器，其特征在于，所述电压控制部还可以将所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差设定为比 所述第二电位差大的第三电位差，并且从所述第二电位差切换到所述第三电位差，当设定为所述第一电位差时，所述第一反射膜与所述第二反射膜之间被设定为第一间隔，当设定为所述第二电位差时，所述第一反射膜与所述第二反射膜之间被设定为比所述 第一间隔小的第二间隔，当设定为所述第三电位差时，所述第一反射膜与所述第二反射膜之间被设定为比所述 第二间隔小的第三间隔，所述第一间隔与所述第二间隔之差的绝对值，与所述第二间隔与所述第三间隔之差的绝对值相等。7.根据权利要求6所述的光滤波器，其特征在于，所述第二电位差与所述第三电位差之差的绝对值比所述第一电位差与所述第二电位 差之差的绝对值小。8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的光滤波器，其特征在于， 具备测量所述第一电极与所述第二电极之间的静电容量的静电容量测量部。9.一种光滤波器，其特征在于，具备第一反射膜，其反射光并且可使特定波长的光透过；第二反射膜，其隔着间隙与所述第一反射膜对置配置，反射光并可使特定波长的光透过；第一电极；与所述第一电极对置配置的第二电极；及 电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差， 当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波 长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所 述第一电位差大的第二电位差，并对所述间隙进行控制。10.一种特性测量方法，其特征在于，通过具有标准具、电压控制部、受光部、测量部的光滤波器来对测量物的特性进行测量，所述标准具具有第一基板，与所述第一基板对置的第二基板； 设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜； 设置于所述第一基板的第一电极；及 设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极，所述电压控制部，其将所述第一电极与所述第二电极之间的电位差设定为第一电位差 及比所述第一电位差大的第二电位差中的任意一个， 所述受光部，其接收透过了所述标准具的光， 所述测量部，其对被所述受光部接收到的所述光的光量进行测量， 该特性测量方法包括 对测量物照射光的光照射步骤；通过所述电压控制部设定为所述第一电位差，并从透过所述测量物或者被所述测量物 反射而入射到所述标准具的光中提取出第一光的第一电压控制步骤；通过所述受光部接收所述第一光，并通过所述测量部对所接收到的所述第一光的受光 量进行测量的第一测量步骤；通过所述电压控制部从所述第一电位差设定为第二电位差，并从透过所述测量物或者 被所述测量物反射而入射到所述标准具的所述光中提取出第二光的第二电压控制步骤；及 通过所述受光部接收所述第二光，并通过所述测量部对所接收到的所述第二光的受光量进行测量的第二测量步骤。11.根据权利要求10所述的特性测量方法，其特征在于，在所述第二电压控制步骤中被设定为所述第二电位差的期间比在所述在第一电压控 制步骤中被设定为所述第一电位差的期间长。12.根据权利要求10或者11所述的特性测量方法，其特征在于，在所述第一电压控制步骤中对所述第一电极施加第一电压；在所述第二电压控制步骤 中对所述第一电极施加第二电压， 所述第一电压是第一直流电压， 所述第二电压是第二直流电压。13.根据权利要求10至12中的任意一项所述的特性测量方法，其特征在于，包括在所述第二测量步骤之后，通过所电压控制部将所述第一电极与所述第二电极之间的 所述电位差设定为比所述第二电位差大的第三电位差，并从透过所述测量物或者被所述测 量物反射而入射到所述标准具的光中提取出第三光的第三电压控制步骤；及通过所述受光部接收所述第三光，并且通过所述测量部对所接收到的所述第三光的受 光量进行测量的第三测量步骤，所述第二电位差与所述第三电位差之差的绝对值比所述第一电位差与所述第二电位 差之差的绝对值小。14.根据权利要求10至13中的任意一项所述的特性测量方法，其特征在于，具备在所述第二测量步骤之后，通过所电压控制部将所述第一电极与所述第二电极之间的 所述电位差设定为比所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种光滤波器，其特征在于，具备：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差，当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松野靖史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP