一种MEMS麦克风芯片制造技术

技术编号:5733455 阅读:119 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种MEMS麦克风芯片,包括中部设置有孔洞的基底、振膜以及与所述振膜相对设置的固定极板,所述振膜被悬空设置的悬梁结构支撑,所述悬梁结构上设置有加强结构;这种设计的MEMS麦克风芯片,其振膜应力小、灵敏度高,并且产品可靠性好、不会因外力作用而导致振膜的支撑部分损坏。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风芯片,包括中部设置有孔洞的基底、振膜以及与所述振膜相对设置的固定极板,其特征在于,所述振膜被悬空设置的悬梁结构支撑,所述悬梁结构上设置有加强结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡孟锦
申请(专利权)人:歌尔声学股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:37[中国|山东]

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