虹吸提升法腐蚀制备光纤微探针的装置及方法制造方法及图纸

虹吸提升法腐蚀制备光纤微探针的装置及方法。是一种近场光学显微镜用光纤探针、近场探测器用探针、微传感器用微探针的制备方法，该方法先将光纤的一端固定于采用腐蚀液容器的上方，另一端位于腐蚀液容器中的腐蚀液中，腐蚀液容器悬浮在虹吸主容器中的液面上，采用虹吸的方法将虹吸主容器中的液体吸入虹吸附容器中，调整虹吸管中间的虹吸调速阀门，使虹吸主容器中的液面按预定的速度下降，从而带动位于悬浮载物台上的腐蚀液容器下降，使腐蚀液容器中的腐蚀液的液面缓缓离开固定于螺旋测微器上的光纤，按照预定的下降速度腐蚀出所需的探针。该方法造价低，重复性能好，工艺简单易控，清洁环保，针尖超锐、针尖锥体形状可控、针尖均匀变细表面光滑且有较好的锥体角。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
虹吸提升法腐蚀制备光纤微探针的装置及方法
本专利技术是一种近场光学显微镜用光纤探针、近场探测器用探针、微传感器用微探针的制备方法，尤其是一种用虹吸提升腐蚀法腐蚀制备光纤微探针的装置及方法。
技术介绍
用于近场光学的光纤探针制备方法有多种，比如加热拉伸、化学腐蚀、和电解法等等，理论上比较成熟的方法是加热拉伸法和化学腐蚀法，这两种方法也是目前实际应用的光纤探针制备方法。加热拉伸法是将单模光纤中间的一个部位利用激光或红外加热，同时对两端施以外力向外缓慢拉伸，随着时间推移，光纤被拉伸逐渐变细，最后断开，形成渐细的针尖；加热拉伸法原理很简单，但是，实际的工艺实现却是很麻烦，需要非常精密的拉伸器件，目前所用的拉伸装置如市售微管拉伸机(如sutter instrument P-87型的拉伸机)，是用二氧化碳激光器对光纤边加热边进行拉伸，使光纤断裂成垂直于光纤轴有一平坦端面的针尖。这种拉伸方法可以通过控制拉伸速度而得到通光效率较高的抛物线状针尖，但是却很难控制所制得的光纤探针针尖窗口形状、也很难得到很小的窗口尺寸的探针。而且，微管拉伸机要求拉伸速度缓慢平滑，加热激光器加热部位准确，因而如此高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种虹吸提升法腐蚀制备光纤微探针的装置，其特征在于该装置由磁力定位悬浮载物装置（１）、虹吸液面控制装置（２）、光纤探针位置控制装置（３）三个部分所组成；其中，虹吸液面控制装置（２）中的虹吸主容器（２．１）与虹吸附容器（２．４）之间由虹吸管（２．２）连通，在虹吸管（２．２）中间设有虹吸调速阀门（２．３）；磁力定位悬浮载物装置（１）中的定位磁体Ａ（１．１）位于虹吸液面控制装置（２）中虹吸主容器（２．１）内的底部，在虹吸液面控制装置（２）中注有液体，悬浮载物台（１．２）为空心状悬浮于虹吸主容器（２．１）中的液面上，在悬浮载物台（１．２）内的底部设有定位磁体Ｂ（１．２．１）；在悬浮载物台上平面（１．２...

【技术特征摘要】
1.一种虹吸提升法腐蚀制备光纤微探针的装置，其特征在于该装置由磁力定位悬浮载物装置(1)、虹吸液面控制装置(2)、光纤探针位置控制装置(3)三个部分所组成；其中，虹吸液面控制装置(2)中的虹吸主容器(2.1)与虹吸附容器(2.4)之间由虹吸管(2.2)连通，在虹吸管(2.2)中间设有虹吸调速阀门(2.3)；磁力定位悬浮载物装置(1)中的定位磁体A(1.1)位于虹吸液面控制装置(2)中虹吸主容器(2.1)内的底部，在虹吸液面控制装置(2)中注有液体，悬浮载物台(1.2)为空心状悬浮于虹吸主容器(2.1)中的液面上，在悬浮载物台(1.2)内的底部设有定位磁体B(1.2.1)；在悬浮载物台上平面(1.2.2)上设有光纤探针位置控制装置(3)中的腐蚀液容器(3.5)，螺旋测微器(3.3)位于腐蚀液容器...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾宁，孙龙，李昌安，刘战辉，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]