ＴＦＴ面板基板检查装置包括：电子束产生源，照射电子束；二次电子检测器，对在电子束的照射下而从像素产生的二次电子进行检测；以及电压施加单元，包括多个与多个ＴＦＴ面板基板上的电极接触而施加基准电压的探针。电压施加单元具有包围ＴＦＴ面板基板的外周的探测器框架。探测器框架包括包围各ＴＦＴ面板基板的至少一个内框架、以及在内侧包围内框架的框形状的外框架。通过附加拉伸载荷而将内框架安装在外框架的内周壁上，以减少内框架的因自重及探针的反作用力所引起的挠曲，从而提高表面刚性。由此，使各探针与ＴＦＴ面板基板的电极的接触压力均匀化。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种TFT面板基板检查装置，该TFT面板基板检查装置对液晶显示器(liquid crystal display)或有才几电致发光(electroluminescence, EL)显示器等的平板显示器(f lat panel display)中所使用的包括薄膜晶体管(thin-film transistor, TFT)阵列(array)的TFT面板基板进行;险查；本专利技术特别是涉及一种对TFT面板基板供给4企查驱动信号的纟笨测器框架(prober frame)。
技术介绍
平板显示器的面板在其制造步骤中，通常是在母玻璃(mother glass)基板上形成包含TFT阵列的图案(pattern)的多个面板，并从所述母玻璃基板切下各面板。在此平板显示器的制造、检查中，必须在从母玻璃基板上切割各面板之前，在母玻璃基板的状态下对TFT面板基板进行评估。TFT面板基板(薄膜晶体管阵列面板基板)中，关于母玻璃基板的各面板上的配置着矩阵状(matrix)的TFT阵列((薄膜晶体管阵列)的TFT阵列，众所周知有使用非晶硅(amorphous s i 1 icon)的面板、及使用多晶硅(polys il icon)的面板。在使用多晶硅的面板中，形成着对玻璃基板上的TFT阵列供给驱动信号来驱动面板的驱动电路。在由玻璃基板所形成的基板上，形成着由TFT阵列构成的多个面板。各TFT阵列包括矩阵状排列的多个TFT (基板薄膜晶体管)，此TFT面板基板在从扫描信号电极端子、影像信号电极端子输入的信号的作用下而受到驱动。作为对所述基板上的各面板上所形成的TFT阵列进行检查的检查装置，众所周知有TFT面板基板检查装置。在基板上形成着矩阵状排列的由薄膜晶体管构成的TFT阵列，而且，形成着对各薄膜晶体管进行驱动的信号电极端子(扫描信号电极端子、影像信号电极端子)。另一方面，TFT面板基板4全查装置包括对玻璃基板施加电压的电压施加单元即探测器框架。探测器框架具备多个探针，所述多个探针与基板的信号电极端子电气连接以对基板供给检查信号。探针的针数及排列是与基板的信号电极端子相对应而设置。在TFT面板基板检查装置中，经由探测器框架的探针来将基板的信号电极端子与检查电路之间予以连接，并通过探针将检查驱动信号供给至TFT阵列。对^v TFT阵列4佥测出的^r测信号、或通过电子束照射而获得的二次 电子(secondary electron)进行;险测，由此来4全测驱动状态，并进行栅极 -源纟及(gate-source)间的短3各、点缺陷、断线等的4企查。作为此种TFT面 板基板检查装置，众所周知有例如日本专利特开2004-239896号(以下称作 "专利文献l")中的检查装置。TFT面板基板的信号线通常为5根或5根以上，有时也为具备1000根 信号线的构成。在TFT面板基板上具备用以与所述信号线连接的称作焊垫 (pad)的电极，并通过使探测器框架所具备的称作探针的针与所述电极接 触，而施加驱动电压以进4亍电气驱动。TFT面板基板检查装置是以所述探针与电极的接触良好为前提来进行 检查的。而在探针与电极的接触不良的情况下，会误将探针与电极的接触 不良检测为TFT面板的缺陷。结果，会误将无缺陷的TFT面板判定为不合 格品，从而导致检查精度或检查效率降低。自TFT面板基板的大型化或生产效率性方面考虑，母玻璃基板趋于大 型化。为此而使用有具备多个探针的探测器框架。在已使用大型的探测器 框架的情况下，为了使探针与TFT面板基板的电极良好地接触，而要求探 测器框架为高刚性(rigidity)。然而，在大型的探测器框架中，会因框架的自重所引起的挠曲(flexure) 及探针的反作用力等而导致框架产生翘曲，而使得探针与TFT面板基板的 电极焊垫的接触压力在不同场所下变得不均匀，从而难以对TFT阵列施加 稳定的检查信号，最终会影响到检查结果的可靠性。此外，探测器框架的翘曲会对检查装置内的探测器框架的搬送造成障碍。可以预测到的是，随着TFT面板基板及母玻璃基板的大型化的推进， 靠提高探测器框架的刚性是难以应对的。
技术实现思路
由此，本专利技术的目的在于解决所述的以往的问题，提高探测器框架的 表面冈'H生(surface rigidity)来减少逾曲。本专利技术的目的在于通过提高探测器框架的表面刚性来减少翘曲，从而 使各探针与TFT面板基板的电极的接触压力均匀化。进而，本专利技术的目的在于对TFT面板基板供给稳定的检查信号来提高 TFT面板基板;险查装置的可靠性。本专利技术中，由外框架与内框架构成探测器框架，且对内框架赋予拉伸 载荷而将该内框架支撑于外框架上，由此提高内框架的表面刚性而实现翘曲小的探测器框架。外框架由包围TFT面板基板的框形状的构件而构成，内框架可由设置在外框架的内侧的軒(girder)材而构成。内框架是通过将多个内框架加以组合，或者与外框架进行组合来形成多个区域。此区域可与母玻璃基板上所设置的各TFT面板基板相对应而设置。在外框架以及内框架上，设置着与TFT面板基板的电极接触的探针。各内框架分别独立地被赋予拉伸载荷而支撑于外框架上，因此成为不会受到来自邻接的内框架的影响而不易产生翘曲的结构。因此，可提高内框架的表面刚性。本专利技术的TFT面板基板检查装置具备电子束产生源，对TFT面板基板照射电子束；二次电子检测器，对在电子束的照射下而从TFT面板基板的像素产生的二次电子进行;险测；以及电压施加单元，包括多个探针，所述多个揮:针与多个TFT面板基一反上的电极4妄触并通过此电极来对像素施加基准电压。TFT面板基板检查装置中，将电压施加单元载置在TFT面板基板上，使探针与TFT面板基板的电极接触，从而经由探针来对TFT面板基板供给检查信号以驱动各像素。从电子束产生源对驱动状态的像素照射电子束。在电子束照射下从像素释放出二次电子。由于所释放出的二次电子量依存于像素的电压状态，所以利用二次电子检测器来对从像素释放出的二次电子进行检测，由此便可得知像素的电压状态。像素的电压状态会根据所施加的检查信号而发生变化。将由检测出的二次电子所获得的像素的电压状态、与对正常的像素施加检查信号时所获得的电压状态加以比较，由此来进行TFT面板基板的缺陷检查。本专利技术所具备的电压施加单元具有包围TFT面板基板的外周的探测器框架。此探测器框架包括包围多个TFT面板基板的框形状的外框架、及设置在此外框架内的至少一个内框架。内框架是被附加拉伸载荷而安装在外框架的内周壁上。外框架及内框架在与TFT面板基板上的电极相对向的面上具备探针。通过附加拉伸载荷而将内框架安装于外框架的内周壁上，从而可减少内框架的因自重或探针的反作用力所引起的挠曲，以使表面刚性提高。将内框架安装在外框架上的型态可以是利用连结材来完成安装的构成。将连结材的一端安装在内框架的至少一端部上，并施加4i伸载荷而将连结材的另一端安装于外框架上。连结材将内框架相对于外框架而至少在探测器框架的面内方向上旋转自如地连结。即便在外框架与内框架在面内方向上产生位移的情况下，通过连结材旋转便可使外框架及内框架不产生翘曲。此外，连结材可使用至少能够绕单轴旋转的旋转接头。旋转接头以其6轴方向成为与探测器框架的面内方向正交的方向的朝向而安装在外框架 上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种ＴＦＴ面板基板检查装置，其特征在于包括： 电子束产生源，对ＴＦＴ面板基板照射电子束； 二次电子检测器，对在所述电子束的照射下而从所述ＴＦＴ面板基板的像素产生的二次电子进行检测；以及 电压施加单元，包括多个探针，所述多个探针与所述多个ＴＦＴ面板基板上的电极接触并通过所述电极来对所述像素施加基准电压；且 所述电压施加单元包括包围所述ＴＦＴ面板基板的外周的探测器框架， 所述探测器框架包括：包围所述多个ＴＦＴ面板基板的框形状的外框架、及设置在所述外框架的内侧的至少一个内框架， 附加拉伸载荷而将所述内框架安装在所述外框架的内周壁上， 所述外框架及所述内框架在与所述ＴＦＴ面板基板上的电极相对向的面上包括所述探针。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：芝吹直伸，铃木正康，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。