【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种用于检查感兴趣对象（１０７）的检查装置（１００），所述检查装置包括： 辐射源（１０４），其适于向所述感兴趣对象（１０７）发射具有焦斑的电磁辐射束，并且适于以一旋转频率围绕关于所述感兴趣对象（１０７）的ｚ轴（１０２）进行旋转； 进一步将所述辐射源（１０４）调整成使所述束的所述焦斑以高于所述源（１０４）的所述旋转频率的振荡频率沿着所述ｚ轴（１０２）的ｚ方向来回移动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：C邦图斯，R普罗克绍，T克勒，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]
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