【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体行业用的带锯式晶体切断机,特别涉及带锯式晶体 切断机的带锯保持装置。
技术介绍
目前公知的带锯式晶体切断机,在带锯两侧多采用滑动保持,滑动保持装置不 能随带锯的转动作随动,且和带锯之间有一定的间隙,切割晶体时由于滑动保持装置并 不是贴紧在带锯上的,带锯高速运转的速度以及和切割物之间产生的应力就会使带锯出 现位置跑偏和切割不稳定的情况,同时带锯在跑偏时会和滑动保持装置碰撞产生摩擦阻 力,降低了带锯的转动速度,缩短了带锯的使用寿命。
技术实现思路
本技术提供了一种带锯的滚动保持装置,这种装置可以提高切割晶体的速 度和精度,切割稳定并且能增加带锯的使用寿命。本技术所采用的技术方案是本技术的带锯滚动保持装置主要由滚保座、偏心轴和滚轮等构件组成,滚 保座加工成L形,两个滚轮通过角接触轴承安装在偏心轴上,偏心轴固定在滚保座上, 整个滚动保持装置固定在带锯式晶体切断机的固定基面上,带锯从两个滚轮中间穿过并 与滚轮作无受力接触,两滚轮可随带锯的转动作随动,实现对带锯的保持。本技术的有益效果由于采用了上述结构,使带锯在切割晶体时始终保持 在正确的位置上,保证了切割 ...
【技术保护点】
一种带锯式晶体切断机的带锯滚动保持装置,其特征在于:它主要由滚保座、偏心轴和滚轮等构件组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:肖钢,
申请(专利权)人:北京京仪世纪电子股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]
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