介电可调射频微机电系统电容开关技术方案

本实用新型专利技术涉及一种介电可调射频微机电系统电容开关，包括：置于衬底材料（１）上的第一电极（２）、第二电极（３）、及位于所述第一电极（２）和第二电极（３）之间的第三电极（４），所述的第一电极（２）上设有一可活动的悬臂（５），所述的第二电极（３）上设有一介电材料层（６），所述的第三电极（４）上设有一绝缘材料层（７）。本实用新型专利技术的技术方案还可以主要采用置于衬底材料（１）上的五个电极及连接于两个电极上的金属桥的方式来实现。本实用新型专利技术能够实现电容持续可调模拟性，同时能够有效防止介电材料的击穿。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种介电可调射频微机电系统电容开关，其特征在于，包括：置于衬底材料（１）上的第一电极（２）、第二电极（３）、及位于所述第一电极（２）和第二电极（３）之间的第三电极（４），所述的第一电极（２）上设有一可变形的悬臂（５），所述的第二电极（３）上设有一介电材料层（６），所述的第三电极（４）上设有一绝缘材料层（７）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：党兵，王国安，
申请(专利权)人：党兵，王国安，
类型：实用新型
国别省市：11[]