具有热膨胀平衡层或加强层的微机电装置制造方法及图纸

一种干涉式调制装置具备在可移动柔性层的与可移动反射体相对的一侧上的热膨胀平衡层，以使得当温度改变时，所述可移动反射体与光学堆叠之间的距离不会显著改变，借此产生稳定色彩。另外，一种干涉式调制装置具备在所述可移动柔性层与所述可移动反射体之间的加强层，且至少一个中空空隙存在于所述可移动反射体与所述加强层彼此接触的表面上，以使得所述可移动反射体对于弯曲来说更具刚性，借此降低所述可移动反射体的温度敏感性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种装置，其包含：　　电极；　　固定至少部分反射体；　　可移动柔性层；　　可移动至少部分反射体，其耦合到所述可移动柔性层，其中干涉调制腔由所述可移动至少部分反射体及所述固定至少部分反射体界定，所述可移动至少部分反射体可在至少第一位置与第二位置之间移动；以及　　热膨胀平衡层，其在所述可移动柔性层的与所述可移动反射体相对的一侧上，其中在所述可移动反射体的热膨胀系数大于所述可移动柔性层的热膨胀系数的情况下，所述热膨胀平衡层具有大于或等于所述可移动柔性层的热膨胀系数的热膨胀系数，或在所述可移动反射体的所述热膨胀系数小于所述可移动柔性层的热膨胀系数的情况下，所述热膨胀平衡层具有小于或等于所述可移动柔性层的热膨胀系数的热膨胀系数。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：绍里古德拉瓦莱蒂，克拉伦斯徐，
申请(专利权)人：高通MEMS科技公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]