一种检测镜头结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种检测镜头结构，包括镜筒和镜筒内至少两片的透镜片，最接近待测物的透镜片为基准镜片，其中，所述的基准镜片外部套有固定筒，固定筒安装在镜筒内腔里，所述的固定筒包括锁压环和固定座，固定座和锁压环之间形成环状凹槽固定基准镜片。本实用新型专利技术结构简单，通过固定座和锁压环对基准镜片的保护，可完全消除组装过程中镜筒对基准镜片产生的挤压和应力，减少镜片的损耗，而且组装更方便。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种检测镜头结构(一)
本技术涉及一种用于球面检测仪的检测镜头，特别是应用于菲索干涉仪、以检测光学球面镜片的表面精度及曲率半径用的非接触式检测镜头。(二)
技术介绍
在球面镜片的生产过程中，镜片精度的检测至关重要。菲索干涉仪是检测球面镜 片表面精度的主要检测仪器。菲索干涉仪包括光源A、发散镜片B、分光棱镜C、准直镜D、检 测镜头E和摄像器F。光源A可使用发出单一波长的气体放电灯，例如氦气和钠灯， 一般采 用激光；摄像器F可为CCD摄像机；检测镜头E朝向待测物G的一面称为基准面H。它的工 作原理是这样的如图1所示，光源A产生的光束经过发散镜片B、分光棱镜C和准直镜D 后，垂直入射检测镜头E， 一部分光在检测镜头E的基准面H被反射，形成参照光路Ib，参照 光路Ib经过分光棱镜C进入摄像器F ;—部分光透过基准面H照射在待测面M上，移动待测 物G，如果光线垂直照射在待测面M上时，此时光线将从待测面M反射，形成检测光路Ia，检 测光路Ia按原路返回，经过分光棱镜C，亦反射进入摄像器F。根据光的干涉原理——两列 或几列具有相同频率、振动方向相同的光波在空间相遇时相互迭加，在某些区域始终加强， 在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象；参照光路Ib和检测光路Ia在摄像 器F上形成干涉条纹，工作人员根据条纹形状观察待测物G的表面精度。另外，把待侧面G 移动至光束聚集点位置，反射光线的波面180度回转以后返回检测镜头E，与基准面H反射 光线产生干涉以后，可以观察大干涉仪条纹，此时待测物G移动的距离R即为该镜片的曲率 半径。 在整个干涉仪中，检测镜头是最重要的部件之一，镜头的性能决定了测量的精度。 为提高检测精度，检测镜头的各透镜片都要求有较高表面精度，特别是基准镜片。但是在基 准镜片组装时，容易因挤压或其它应力作用而产生变形。因此需要对镜头结构进行改进，在 避免基准镜片受到损坏的同时更方便镜片的组装。(三)
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种结构简单、可避免基准镜片受到 损坏、组装方便的检测镜头。 本技术是通过以下技术方案实现的一种检测镜头结构，包括镜筒和镜筒内 至少两片的透镜片，最接近待测物的透镜片为基准镜片，其中，所述的基准镜片外部套有固 定筒，固定筒安装在镜筒内腔里，所述的固定筒包括锁压环和固定座，固定座和锁压环之间 形成环状凹槽固定基准镜片。 与现有技术相比，本技术结构简单，组装时先将基准镜片放入固定座锁定锁 压环，基准镜片固定在环状凹槽内，然后点胶固定，这时基准镜片在固定筒中不能移动，保 证了各透镜片的同轴度。最后将基准镜片安装入镜筒中，通过固定座和锁压环对基准镜片 的保护，可完全消除组装过程中镜筒对基准镜片产生的挤压和应力，减少镜片的损耗，而且3组装更方便。 上述所述的固定座与锁压环之间通过螺纹连接。螺纹连接可较好地控制环状凹槽的大小，避免安装对基准镜片产生挤压和应力。 上述所述的镜筒与固定筒之间通过螺纹连接。 上述所述的镜筒内腔靠近光源的一端端部安装有密封环。密封环同时还起到光阑 的作用，使结构更简单紧凑。上述所述的镜筒内腔靠近待测物的一端端部设有平台，所述的 固定筒安装在平台上。 上述所述的镜筒、固定座、锁压环及密封环采用铝制成。保证了镜筒有足够的强度 且轻便。 上述所述的基准镜片朝向待测物的一面为基准面，基准面是空白的，各透镜片的 其它表面均镀有增透膜。在各透镜片的表面镀上增透膜，这样可以使激光光束尽可能的透 过，避免光束在各透镜表面被反射消耗，而在基准面上不镀制任何膜层，目的在于使基准镜 反射光线尽量多，能量与从待测物反射光线相当，以形成最清晰的干涉条纹。亦避免出现被 待测物碰花膜层的情况出现。 上述所述的增透膜为中心波长为632. 8nm的单层膜。所述的基准面的表面精度小 于或等于y/20，其中y为632. 8nm。 上述所述的镜头包括三片具有正焦距的透镜片，第一透镜片为平凸透镜，其第一 表面为凸面、第二表面为平面；第二透镜片和基准镜片为弯月形透镜，所述的基准面为凹 面。(四) 附图说明 图1是菲索干涉仪的的工作原理示意图； 图2是本技术的结构示意图； 图3是本技术的所使用的增透膜的分光数据图； 图4是本技术的光程差参考图。以下结合附图对本技术作详细的说明具体实施方式 如图2所示，本技术包括镜筒1和镜筒1内至少两片的透镜片，最接近待测物 的透镜片为基准镜片G3，其中，所述的基准镜片G3外部套有固定筒，固定筒安装在镜筒1内 腔里，所述的固定筒包括锁压环4和固定座3，固定座3和锁压环4之间形成环状凹槽7固 定基准镜片G3。镜头组装时，先将基准镜片G3放入固定座3，锁定锁压环4，基准镜片G3固 定在环状凹槽内，然后点胶固定，这时基准镜片G3在固定筒中不能移动，保证了各透镜片 的同轴度。最后将基准镜片G3安装入镜筒中，通过固定座3和锁压环4对基准镜片G3的 保护，可完全消除组装过程中镜筒1对基准镜片G3产生的挤压和应力，减少镜片的损耗，而 且组装更方便。 上述所述的固定座3与锁压环4之间通过螺纹连接。螺纹连接可较好地控制环状 凹槽7的大小，避免安装对基准镜片G3产生挤压和应力。 上述所述的镜筒1与固定筒之间通过螺纹连接。 上述所述的镜筒1内腔靠近光源的一端端部安装有密封环5。密封环5同时还起 到光阑的作用，使结构更简单紧凑。所述的镜筒l内腔靠近待测物的一端端部设有平台2， 所述的固定筒安装在平台2上。 上述所述的镜筒1、固定座3、锁压环4及密封环5采用铝制成。保证了镜筒1有 足够的强度且轻便。 为使检测仪形成明显的干涉条纹，上述所述的基准镜片G3朝向待测物的一面为 基准面S7，基准面S7是空白的，各透镜片的其它表面均镀有增透膜。在各透镜片的表面镀 上增透膜，这样可以使激光光束尽可能的透过，避免光束在各透镜表面被反射消耗，而在基 准面S7上不镀制任何膜层，目的在于使基准面S7反射光线尽量多，能量与从待测物反射光 线相当，以形成最清晰的干涉条纹。 上述所述的增透膜为中心波长为632. 8nm的单层膜。所述的基准面S7的表面精 度小于或等于y/20，其中y为632. 8nm。 上述所述的镜头包括三片具有正焦距的透镜片，第一透镜片Gl为平凸透镜，其第一表面S2为凸面、第二表面S3为平面；第二透镜片G2和基准镜片G3为弯月形透镜，所述的基准面S7为凹面。所述的第一透镜片Gl和第二透镜片G2之间还隔有隔圈6，隔圈6。 以下为本技术的具体实施例 本技术的优选参数值如表1所示 表1<table>table see original document page 5</column></row><table> 本技术中，各透镜片采用高折射的材料，其中第一透镜片Gl和第二透镜片G2 均采用H-ZF52A玻璃材质，基准镜片G3采用H-ZFG3LA玻璃材质。 上述实施例为本技术的较佳实施方式，但本技术的实施方式不限于此，其他任何未背离本技术的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均为 等效的置换方式，都包含在本技术的保护范围之内。权利要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测镜头结构，包括镜筒和镜筒内至少两片的透镜片，最接近待测物的透镜片为基准镜片，其特征在于：所述的基准镜片外部套有固定筒，固定筒安装在镜筒内腔里，所述的固定筒包括锁压环和固定座，固定座和锁压环之间形成环状凹槽固定基准镜片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谭志勇，梁宏皓，谭少沛，郑德裕，
申请(专利权)人：凤凰光学广东有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]