【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及反应罐,具体涉及一种用于硅粉提纯的耐高温反应罐及制造方法。
技术介绍
1、硅粉是半导体、光伏及电子元器件制造等领域的关键基础材料,其纯度直接影响下游产品的性能与可靠性。在硅粉的生产制备过程中,需要通过反应罐进行高温提纯。
2、传统的反应罐普遍采用金属材料(如不锈钢、碳钢)制作,硅粉在反应罐内进行高温提纯过程中,硅粉的中心温度会达到600°左右,反应罐内壁在与高温的硅粉接触过程中,反应罐内壁中的金属离子(如fe、ni、cr等)会缓慢析出,并附着于硅粉表面,这些金属离子会显著降低硅粉的纯度,进而影响其在半导体或光伏应用中的电学性能。
3、目前,在现有技术中,为了降低金属离子析出污染,行业内通常采用将反应罐内壁抛光或喷涂硅材料涂层进行隔离,来缓解上述问题,但这些方法仍存在局限性:抛光工艺无法完全消除金属活性,而硅材料涂层在使用过程中易磨损脱落,导致反应罐使用周期短,稳定性差,因此,硅粉在反应罐中进行高温反应过程中任会成为污染控制的薄弱点。
技术实现思路
1、
...【技术保护点】
1.一种用于硅粉提纯的耐高温反应罐,其特征在于:包括反应罐本体、若干由单晶硅或多晶硅制作的矩形隔离硅板及焊接固定设置在反应罐本体内壁上的若干耐高温的固定件,若干所述固定件沿反应罐本体的内壁圆周间隔固定,并沿反应罐本体的高度方向延伸设置,相邻两个固定件之间形成固定通道,所述矩形隔离硅板相对的两侧沿其长度方向开设有与固定通道相匹配的卡槽,若干所述矩形隔离硅板依次插设在各固定通道中,且插设在相邻两个固定通道中的矩形隔离硅板之间以及插设在各固定通道中的相邻两个矩形隔离硅板之间相互紧靠闭合,在反应罐本体的内壁上形成隔离层,以对固定件及反应罐本体内壁进行封闭,使进入反应罐本体内的
...【技术特征摘要】
1.一种用于硅粉提纯的耐高温反应罐,其特征在于:包括反应罐本体、若干由单晶硅或多晶硅制作的矩形隔离硅板及焊接固定设置在反应罐本体内壁上的若干耐高温的固定件,若干所述固定件沿反应罐本体的内壁圆周间隔固定,并沿反应罐本体的高度方向延伸设置,相邻两个固定件之间形成固定通道,所述矩形隔离硅板相对的两侧沿其长度方向开设有与固定通道相匹配的卡槽,若干所述矩形隔离硅板依次插设在各固定通道中,且插设在相邻两个固定通道中的矩形隔离硅板之间以及插设在各固定通道中的相邻两个矩形隔离硅板之间相互紧靠闭合,在反应罐本体的内壁上形成隔离层,以对固定件及反应罐本体内壁进行封闭,使进入反应罐本体内的硅粉不与固定件及反应罐本体内壁接触。
2.如权利要求1所述的用于硅粉提纯的耐高温反应罐,其特征在于:所述固定件包括长条形的底板、筋板和卡板,所述底板沿反应罐本体的高度方向延伸固定设置在反应罐本体内壁上,所述筋板沿反应罐本体的高度方向延伸固定设置在底板上端的中部,卡板沿反应罐本体的高度方向延伸固定设置在筋板上端,并与底板相互正对且平行,底板、筋板和卡板相互组合形成长条形的工字型结构的架体,相邻两个固定件的卡板侧沿之间形成上述的固定通道,所述矩形隔离硅板两侧的卡槽对应的卡在相邻两个固定件的卡板侧沿上,且相邻两个固定通道中的矩形隔离硅板朝向反应罐本体内侧的相邻两个边沿相互紧靠闭合。
3.如权利要求2所述的用于硅粉提纯的耐高温反应罐,其特征在于:所述反应罐本体的内壁上端还设置有止挡板,所述止挡板为多个,分别止挡在每个固定通道的两端,所述矩形隔离硅板的端部开设有与止挡板相匹配的凹槽,所述止挡板插设在凹槽中,并与反应罐本体的内壁固定连接,以对矩形隔离硅板限位止挡。
4.如权利要求3所述的用于硅粉提纯的耐高温反应罐,其特征在于:所述反应罐本体的罐底内底部平行铺设有由单晶硅或多晶硅制作的板状隔离硅板,设置在反应罐本体...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡红荣,蔡诚,郭吉鸿,王玉强,屈振刚,殷传涛,马军,
申请(专利权)人:宁夏金梯氟塑防腐设备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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