一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统技术方案

本发明专利技术涉及晶圆技术领域，尤其为一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统，包括机架、调位组件、解锁组件、载物台和晶圆装载盒，所述机架包括架板，所述架板的前侧固定连接有托板，所述架板的内侧开设有处于托板上侧的取口，所述架板的前侧固定连接有处于托板下侧的侧撑，所述架板的内侧开设有处于托板下侧的滑口，所述架板的前侧安装有处于托板下侧的调位组件，所述调位组件的后侧安装有解锁组件，所述托板口位内安装有载物台，本发明专利技术中，通过设置的解锁组件、调位组件和解锁组件等结构使晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统开门操作，能够流畅且平稳地将密封门从装载盒体上取下。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶圆，具体为一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统。

技术介绍

1、晶圆装载盒是半导体制程中用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，一般其内部可以容纳一定数量的晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的密封门用于容器的开闭，是一种用于晶圆厂内的自动化传送系统的重要的传载容器，当晶圆需要被载入工艺设备中进行加工，需要专用设备打开前开式的晶圆装载盒的密封门，才能进行后续的装载。

2、但是现有技术中，如公开号：cn114334754a，专利技术名称：一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统，本专利技术一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统的有益效果是，通过取放组件和解锁组件的结合，限定了开门装置的运动路线，减少了运动自由度，将传统需要三个驱动件完成的功能缩减为两个，简化了空间结构，控制简单，提高了晶圆载入动作的可靠性，并且实现了晶圆装载机上晶圆装载盒的密封门取放机构的模块化设计，然而，从对比文件的附图6可以看出，其l型滑槽的上槽道呈弧形设计，因此，采用这种方式打开密封门时，密封门会以倾斜的角本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统，包括机架(1)、调位组件(2)、解锁组件(3)、载物台(4)和晶圆装载盒(5)，其特征在于：所述机架(1)包括架板(11)，所述架板(11)的前侧固定连接有托板(13)，所述架板(11)的内侧开设有处于托板(13)上侧的取口(12)，所述架板(11)的前侧固定连接有处于托板(13)下侧的侧撑(15)，所述架板(11)的内侧开设有处于托板(13)下侧的滑口(14)，所述架板(11)的前侧安装有处于托板(13)下侧的调位组件(2)，所述调位组件(2)的后侧安装有解锁组件(3)，所述托板(13)口位内安装有载物台(4)，所述载物台(4)的上侧安...

【技术特征摘要】

1.一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统，包括机架(1)、调位组件(2)、解锁组件(3)、载物台(4)和晶圆装载盒(5)，其特征在于：所述机架(1)包括架板(11)，所述架板(11)的前侧固定连接有托板(13)，所述架板(11)的内侧开设有处于托板(13)上侧的取口(12)，所述架板(11)的前侧固定连接有处于托板(13)下侧的侧撑(15)，所述架板(11)的内侧开设有处于托板(13)下侧的滑口(14)，所述架板(11)的前侧安装有处于托板(13)下侧的调位组件(2)，所述调位组件(2)的后侧安装有解锁组件(3)，所述托板(13)口位内安装有载物台(4)，所述载物台(4)的上侧安装有晶圆装载盒(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统，其特征在于：所述调位组件(2)包括驱动部(21)、导轨一(22)、驱动板(23)、中接架(24)、限位座结构(25)、传动组件(26)、导轮(27)和导轨壳(28)，所述驱动部(21)安装在架板(11)前端面的左部，所述驱动部(21)包括呈上下设置的上轮座(212)和电机轮座(211)，且上轮座(212)与电机轮座(211)均与架板(11)固定连接，所述上轮座(212)与电机轮座(211)的轮体外侧套设有皮带(213)，所述架板(11)的前侧固定连接有处于驱动部(21)右侧的导轨一(22)，所述导轨一(22)的导套前侧固定连接有与皮带(213)固定的驱动板(23)，所述驱动板(23)的前侧固定连接有中接架(24)，所述中接架(24)的上侧安装有限位座结构(25)，所述限位座结构(25)包括与中接架(24)固定连接的基座(251)，所述基座(251)的上侧固定连接有导轨二(252)，所述导轨二(252)的上侧固定连接有处于滑口(14)内的中接座(253)，所述中接座(253)的前侧固定连接有中接块(254)，所述中接块(254)的后侧安装有气缸一(255)，所述气缸一(255)的后端固定连接有驱动杆(256)，所述限位座结构(25)的右侧安装有传动组件(26)，所述传动组件(26)由长转条、短转条和四个转钮组成，所述传动组件(26)的后上侧转钮与基座(251)转动连接，所述传动组件(26)的后下侧转钮与驱动板(23)转动连接，所述传动组件(26)的前侧转钮与中接座(253)转动连接，所述传动组件(26)的前侧转钮右端面固定连接有导轮(27)，所述侧撑(15)的左端面固定连接有导轨壳(28)，所述导轨壳(28)的导槽为l形结构，所述导轮(27)设置在导轨壳(28)导槽的上横槽内。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统，其特征在于：所述解锁组件(3)包括固定在中接座(253)后侧的臂壳(31)，所述臂壳(31)的上部前侧固定连接有面板壳(32)，所述臂壳(31)处安装有检测支架(33)，所述检测支架(33)包括一对与臂壳(31)两侧孔位固定连接的轴承(331)，一对所述轴承(331)内侧固定连接有转件(332)，所述转件(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄清敏，夏宁，杨宣教，顾艳清，彭富贵，李冬孝，
申请(专利权)人：菲科半导体张家港有限公司，
类型：发明
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