【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于滤光片，特别涉及一种三波段中长波红外滤光片及制备方法。
技术介绍
1、三波段中长波红外滤光片是一种对特定的三个波段的透射率选择性高透，对其高透波段外的其它波段高度截止的滤光片。其主要应用在红外光谱探测系统，在国防军工领域有非常重要的应用。随着军工红外技术的发展，对红外滤光片的光学性能要求也越来越高，对能够有效滤除背景杂散信号，提高探测系统的信噪比也提出了更高的要求。另外，除了对滤光片光学特性的高要求外，对红外滤光片膜层可靠性也有极高的要求，目前可供选择的红外滤光片品种很少，因此需要开发一种新的三波段中长波红外滤光片。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是提供一种三波段中长波红外滤光片及制备方法，解决了特殊的红外光谱探测系统中红外滤光窗口的技术问题，为红外光谱探测系统的应用提供了新方案。
2、本专利技术提供了一种三波段中长波红外滤光片，包括正面膜系、基片和背面膜系，所述基片位于所述正面膜系和背面膜系之间；所述正面膜系由锗层和硒化锌膜层交替叠加组成；所述背...
【技术保护点】
1.一种三波段中长波红外滤光片，其特征在于：包括正面膜系、基片和背面膜系，所述基片位于所述正面膜系和背面膜系之间；所述正面膜系由锗层和硒化锌膜层交替叠加组成；所述背面膜系由锗层和硒化锌膜层交替叠加组成。
2.根据权利要求1所述的一种三波段中长波红外滤光片，其特征在于：所述正面膜系层数为1-50层；所述背面膜系层数为1-70层。
3.根据权利要求1所述的一种三波段中长波红外滤光片，其特征在于：所述基片为锗基片，所述基片直径为10-20mm，厚度为0.1-0.5mm。
4.一种如权利要求1~3任一所述的三波段中长波红外滤光片的制备方法，
【技术特征摘要】
1.一种三波段中长波红外滤光片，其特征在于：包括正面膜系、基片和背面膜系，所述基片位于所述正面膜系和背面膜系之间；所述正面膜系由锗层和硒化锌膜层交替叠加组成；所述背面膜系由锗层和硒化锌膜层交替叠加组成。
2.根据权利要求1所述的一种三波段中长波红外滤光片，其特征在于：所述正面膜系层数为1-50层；所述背面膜系层数为1-70层。
3.根据权利要求1所述的一种三波段中长波红外滤光片，其特征在于：所述基片为锗基片，所述基片直径为10-20mm，厚度为0.1-0.5mm。
4.一种如权利要求1~3任一所述的三波段中长波红外滤光片的制备方法，包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：所述步骤（2）中的烘烤加热温度为150-200℃，烘烤加热时间为120-180min。
6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：所述步骤（3）中的高能离子束工艺参数为：轰击时间...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯树军，原清海，孙顺文，
申请(专利权)人：上海米蜂激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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