【技术实现步骤摘要】
本申请涉及计算机，尤其涉及一种数字化生产监管方法及系统。
技术介绍
1、在半导体、led、光伏等高端制造行业中，石英材料因其优异的热稳定性、化学惰性与光学透明性，被广泛应用于反应器内衬、工艺舟、掩膜支架等关键部件的制造。这些石英件往往在经历冷加工、热成型、焊接等多个工艺后，表面可能残留颗粒、金属离子、有机物等污染物，这些污染物若未彻底清除，将直接影响器件在高洁净制程中的稳定性与良率。
2、目前主流清洗工艺采用超声波清洗、酸洗以及超纯水漂洗的多级流程。而对裂纹、残留金属、清洗不彻底等问题，往往依赖于对清洗后的石英件做光学检查或化学分析，一旦发现问题，已错过最佳修正时机，导致返工率高、效率低。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种数字化生产监管方法及系统，可以解决目前对于裂纹、残留金属、清洗不彻底等问题，往往依赖于对清洗后的石英件做光学检查或化学分析，一旦发现问题，已错过最佳修正时机，导致返工率高、效率低的问题。
2、本申请实施例的第一方面提供了一种数字化生产监管方
<本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种数字化生产监管方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述清洗液状态变化参数评估所述石英加工件的质量缺陷，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述石英加工件的升温过程热分布和干涉条纹图谱评估所述石英加工件的质量缺陷，包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法，其特征在于，所...
【技术特征摘要】
1.一种数字化生产监管方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述清洗液状态变化参数评估所述石英加工件的质量缺陷，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述石英加工件的升温过程热分布和干涉条纹图谱评估所述石英加工件的质量缺陷，包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求1-6中任一项所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱延林，李光华，
申请(专利权)人：凯德芯贝沈阳石英有限公司，
类型：发明
国别省市：
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