一种样品台和聚焦离子束装置制造方法及图纸

本技术公开了一种样品台和聚焦离子束装置，涉及样品分析技术领域。本技术包括第一载物平台和第二载物平台，所述第二载物平台与所述第一载物平台的侧面可拆卸连接，且所述第二载物平台的上表面与所述第一载物平台的上表面之间呈钝角设置。由此，可以在少量增加样品台的占用面积的情况下，大大增加了样品放置面积，减少取样和放样的次数。由此可以提高装置的使用效率和减缓装置的硬件老化速度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及样品分析，特别是涉及一种样品台和聚焦离子束装置。

技术介绍

1、聚焦离子束装置(focused ion beam，fib)是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。其中，聚焦离子束装置可以用于半导体样品的纳米级加工或者是材料分析等。例如，其可以用于将离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后作用于样品表面进行加工。从而使得离子与样品相互作用，实现纳米级加工等。

2、但是，现有的样品在放样时由于样品台面积小，一次只能进少数样品，使得在样品数量较多的情况下，需要频繁取样和放样，装置使用效率低，且装置需要频繁进行高低压切换，从而导致装置的硬件老化速度快。

技术实现思路

1、针对频繁取放样导致装置使用效率低和硬件老化速度快的问题，提出了本技术，以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的样品台和聚焦离子束装置。

2、基于本技术的第一方面，提供了一种样品台，所述样品台包括第一载物平台和第二载物平台，所述第二载物平台与所述第一载物平台的侧面可拆卸连接，且所述第二载物平本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种样品台，其特征在于，所述样品台包括第一载物平台(1)和第二载物平台(2)，所述第二载物平台(2)与所述第一载物平台(1)的侧面可拆卸连接，且所述第二载物平台(2)的上表面与所述第一载物平台(1)的上表面之间呈钝角设置。

2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述第一载物平台(1)和所述第二载物平台(2)分别采用铝材料制成。

3.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述第一载物平台(1)靠近所述第二载物平台(2)的侧面上开设有螺纹孔(101)，所述第二载物平台(2)开设有安装通孔(201)；并且，

4.根据权利要求1所述的样品台，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种样品台，其特征在于，所述样品台包括第一载物平台(1)和第二载物平台(2)，所述第二载物平台(2)与所述第一载物平台(1)的侧面可拆卸连接，且所述第二载物平台(2)的上表面与所述第一载物平台(1)的上表面之间呈钝角设置。

2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述第一载物平台(1)和所述第二载物平台(2)分别采用铝材料制成。

3.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述第一载物平台(1)靠近所述第二载物平台(2)的侧面上开设有螺纹孔(101)，所述第二载物平台(2)开设有安装通孔(201)；并且，

4.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述第一载物平台(1)的上表面为粗糙表面。

5.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述第二载物平台(2)的上表面为粗糙表面。

6.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述第一载物平台(1)的上表面和所述第二载物平台(2)的上表面均为粗糙表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈笔宇，李绍建，龚子雄，
申请(专利权)人：珠海格力电子元器件有限公司，
类型：新型
国别省市：