一种用于磁力密封的压力平衡装置制造方法及图纸

本技术涉及应用于化学气相沉积设备技术领域的一种用于磁力密封的压力平衡装置，实现当气压从进液口进入外壳体内时，压力对活塞杆推压，使得活塞通过第二压缩弹簧进行移动达到压力平衡作用，活塞在上下运动中，底部的封液可从进液孔进入再从出液孔排出，使得活塞表面一直有液体润滑，在活塞长期快速上下活动中，与挡板摩擦产生磨损，随着磨损程度加大，活塞的直径缩小，这时挡板通过第三压缩弹簧推动，当第三压缩弹簧处于完全伸展的状态时在挡板与活塞表面分离时，此时微型压力传感器检测压差的变化，将信号传送给控制器自动开启警报器，发出警报声提醒工作人员对活塞进行更换。

【技术实现步骤摘要】

该技术涉及的一种用于磁力密封的压力平衡装置，特别是涉及应用于化学气相沉积设备的一种用于磁力密封的压力平衡装置。

技术介绍

1、磁力密封主要用于密封旋转轴，防止流体泄漏。在一些设备中，如化工泵、反应釜搅拌轴等，由于内部流体存在压力，会对磁力密封装置产生压力差，如果没有适当的压力平衡装置，可能导致密封失效、泄漏甚至损坏设备，因此，压力平衡装置对于磁力密封的正常工作和使用寿命至关重要。

2、中国专利cn213541428u说明书公开了一种压力自动平衡装置，该压力自动平衡装置包括壳体，壳体内开设有贯通壳体的安装腔，安装腔内设置有固定件、弹性件和滑块，固定件安装在安装腔的一端，弹性件的一端与固定件连接，另一端与滑块连接，滑块的外壁抵于安装腔的内侧壁，且能够沿弹性件的伸缩方向滑动。该技术能够改变容纳流体介质的空间大小自动泄压，不再需要考虑泄压时机及人工操作，实现了对齿轨轮内部压力的自动平衡。

3、现有的磁力密封的压力平衡装置在使用中，活塞处于长期快速活动，从而产生摩擦造成磨损，影响压力平衡效果。

技术实现思路本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于磁力密封的压力平衡装置，包括外壳体(1)，其特征在于：所述外壳体(1)上下端分别螺纹连接有上盖(2)和底盖(3)，所述上盖(2)侧壁对称安装有贯通的输送管，且输送管内均安装有电磁阀，所述外壳体(1)内壁固定可拆卸连接有隔板(17)，且隔板(17)将外壳体(1)内分隔为下内腔(7)和上内腔(8)，所述隔板(17)中部滑动连接有活塞杆(9)，且下内腔(7)和上内腔(8)通过活塞杆(9)与隔板(17)之间的间隙相通，所述活塞杆(9)底端螺纹连接有位于下内腔(7)内的活塞(10)，且下内腔(7)内位于活塞(10)下方处填充有封液，所述活塞杆(9)顶端套设有位于上内腔(8)内的顶板(1...

【技术特征摘要】

1.一种用于磁力密封的压力平衡装置，包括外壳体(1)，其特征在于：所述外壳体(1)上下端分别螺纹连接有上盖(2)和底盖(3)，所述上盖(2)侧壁对称安装有贯通的输送管，且输送管内均安装有电磁阀，所述外壳体(1)内壁固定可拆卸连接有隔板(17)，且隔板(17)将外壳体(1)内分隔为下内腔(7)和上内腔(8)，所述隔板(17)中部滑动连接有活塞杆(9)，且下内腔(7)和上内腔(8)通过活塞杆(9)与隔板(17)之间的间隙相通，所述活塞杆(9)底端螺纹连接有位于下内腔(7)内的活塞(10)，且下内腔(7)内位于活塞(10)下方处填充有封液，所述活塞杆(9)顶端套设有位于上内腔(8)内的顶板(15)，所述活塞杆(9)位于顶板(15)和隔板(17)之间的表面套设有第二压缩弹簧(14)，且第二压缩弹簧(14)顶端与顶板(15)固定连接，所述上盖(2)顶端中部开凿有开孔(26)，所述开孔(26)内螺纹连接有密封盖(27)，所述开孔(26)内插有限位套(6)，所述限位套(6)顶端固定连接有连接轴(5)，且限位套(6)套于螺帽(16)表面卡合，所述下内腔(7)内壁对称开凿有凹槽(11)，所述凹槽(11)内壁等距固定连接有多个第三压缩弹簧(18)，所述第三压缩弹簧(18)远离凹槽(11)一端固定连接有与活塞(10)贴合的挡板(12)，所述挡板(12)远离活塞(10)一端固定有内嵌于外壳体(1)内的微型压力传感器(4)。

2.根据权利要求1所述的一种用于磁力密封的压力平衡装置，其特征在于：所述活塞杆(9)位于顶板(15)上方的表面套设有螺帽...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鹏飞，邹宏捷，
申请(专利权)人：南通正明磁传动机械有限公司，
类型：新型
国别省市：