一种音圈电机制造技术

本申请提供一种音圈电机，包括基座、定子组件和动子组件。定子组件包括线圈组件和调节组件，线圈组件包括线圈支架和线圈，线圈支架呈筒形且安装于基座，线圈绕制于线圈支架外侧壁。调节组件置于线圈支架内部，包括呈柱形调节支架和套设安装于调节支架的调节磁钢，调节支架以可沿轴向调节位置的方式与基座连接。动子组件包括动子支架和安装于动子支架上的动子磁钢，动子磁钢套设在定子组件外侧。本申请音圈电机的定子组件中配置了可沿轴向移动的调节磁钢，通过改变调节磁钢轴向位置，调整磁浮力大小，扩大重力补偿范围，分担线圈通电产生的洛伦兹力用于悬浮补偿的负担，保持线圈电流稳定，减少发热，提升精度与响应速度，且不增加电机尺寸。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体制造与检测领域，具体而言，涉及一种音圈电机。

技术介绍

1、在半导体制造与检测领域，许多如光刻机、高精密机床、机械手臂等高运动精度的设备在工业生产中，尤其在真空环境中，设备都有较高的隔绝外部振动和扰动的需求，因此，需要磁浮重力补偿器来补偿重力以实现主动隔振。现有的磁浮重力补偿器，主要分为无源型磁浮重力补偿器和有源型磁浮重力补偿器。

2、现有技术中，无源型磁浮重力补偿器主要由定子磁铁和动子磁铁构成，由于定子磁铁和动子磁铁的结构形式固定，其磁浮力基本不可调节，而大部分应用场景都需要磁浮力大小可调，故该种无源型磁浮重力补偿器的应用场景受限。此外，若要增大无源型磁浮重力补偿器的磁浮力，通常的方式是增大磁浮动子磁铁的尺寸，这就需要重新设计，并且会带来磁浮动子质量的增加，不仅通用性差，而且不适用于有尺寸限制且要求磁浮力大的场合。

3、有源型磁浮重力补偿器除了包括定子磁铁和动子磁铁外，还包括可通电的线圈，通过线圈通电产生洛伦兹力与磁浮力共同进行重力补偿。但若需要平衡的重力增大时，只能通过增大线圈的电流来实现，线圈发热量大，产生的温本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种音圈电机，其特征在于，包括基座(1)、定子组件和动子组件(4)；以所述动子组件(4)的运动方向为轴向，垂直于轴向的方向为径向；

2.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述调节磁钢(32)的充磁方向沿轴向，所述动子磁钢(42)的充磁方向沿径向。

3.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述调节组件还包括固定磁钢(33)，其固定安装于所述线圈支架(21)的内侧底部，且套设于所述调节支架(31)外侧并处于所述调节磁钢(32)下方；其中，所述固定磁钢(33)与所述调节支架(31)之间保持相对滑动。

4.根据权利要求3所述的音圈电机，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种音圈电机，其特征在于，包括基座(1)、定子组件和动子组件(4)；以所述动子组件(4)的运动方向为轴向，垂直于轴向的方向为径向；

2.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述调节磁钢(32)的充磁方向沿轴向，所述动子磁钢(42)的充磁方向沿径向。

3.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述调节组件还包括固定磁钢(33)，其固定安装于所述线圈支架(21)的内侧底部，且套设于所述调节支架(31)外侧并处于所述调节磁钢(32)下方；其中，所述固定磁钢(33)与所述调节支架(31)之间保持相对滑动。

4.根据权利要求3所述的音圈电机，其特征在于，所述调节磁钢(32)与所述固定磁钢(33)之间的滑动范围为h，其中，h的范围为0～5mm。

5.根据权利要求3所述的音圈电机，其特征在于，所述动子磁钢(42)的充磁方向沿径向，所述调节磁钢(32)的充磁方向与所述固定磁钢(33)的充磁方向都沿轴向且相同。

6.根据权利要求3所述的音圈电机，其特征在于，所述调节磁钢(32)与所述固定磁钢(33)的径向尺寸相同，所述调节磁钢(32)沿轴向的长度为l1，所述固定磁钢(33)沿轴向的长度为l2，其中，l1：l2＝0.5～1。

7.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述音圈电机还包括导向结构(5)，所述导向结构(5)包括导轨座(51)和导轨组件(52)，所述导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：伏兆娣，胡兵，彭仁强，
申请(专利权)人：广东粤极科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：