【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及实验室设备领域,具体涉及基于微纳加工实验室设备信息控制方法及装置。
技术介绍
1、微纳加工实验室涉及半导体微纳加工多个实验环节,包括但不限于图形转移(如光刻机)、薄膜沉积(如cvd)、刻蚀(干/湿法)、测试封装等,各个实验环节对应设置有一台或多台重要实验工艺设备,并且每种实验工艺设备需配套厂务设施(纯水系统、尾气处理装置等),形成多层依赖关系。
2、现有技术中,对于微纳加工实验室设备管理通常采用庞大的实验室设备管理系统,该实验室设备管理系统集成上述各个实验环节对应的实验工艺设备以及厂务设备的运行数据,当实验室管理人员或维护人员需要获取具体设备的相关数据,需要找到该设备所属的实验环节以及准确的设备名称,然而具体设备的数据存储位置操作较复杂,对实验室设备了解不够详细的人员或者外来实验人员难以快速精准找到对应设备的数据,当实验室设备出现突发情况时,技术人员也难以快速调取该设备的具体参数。
技术实现思路
1、基于此,本专利技术提供微纳加工实验室设备信息控制方法及装置,根据
...【技术保护点】
1.一种微纳加工实验室设备信息控制方法,所述微纳加工实验室设备信息控制方法应用于用户端,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的微纳加工实验室设备信息控制方法,其特征在于,所述结合用户身份权限、用户所属项目信息、用户已预约实验信息、用户历史操作设备信息和用户历史查询信息预测用户对各项实验室设备管理信息的关注权重,具体为:
3.如权利要求2所述的微纳加工实验室设备信息控制方法,其特征在于,所述结合所述关注权重调整各项实验室设备管理信息的展示顺序和详细程度,具体为:
4.如权利要求3所述的微纳加工实验室设备信息控制方法,其特征在于,还
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【技术特征摘要】
1.一种微纳加工实验室设备信息控制方法,所述微纳加工实验室设备信息控制方法应用于用户端,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的微纳加工实验室设备信息控制方法,其特征在于,所述结合用户身份权限、用户所属项目信息、用户已预约实验信息、用户历史操作设备信息和用户历史查询信息预测用户对各项实验室设备管理信息的关注权重,具体为:
3.如权利要求2所述的微纳加工实验室设备信息控制方法,其特征在于,所述结合所述关注权重调整各项实验室设备管理信息的展示顺序和详细程度,具体为:
4.如权利要求3所述的微纳加工实验室设备信息控制方法,其特征在于,还包括:
5.如权利要求1所述的微纳加工实验室设备信息控制方法,其特征在于,还包括:
6.如权利要求5所述的微纳加工实验室设备信息控制方法,其特征在于,所述根据用户所述项目信息、用户预约实验信息、用户关联设备信息、查询指令和用户历史查询信息得到用户查询真实指令,具体为:
7.如权利要求6所述的微纳加工实验室设备信息控制方法,其特征在于,所述用户查询真实指令包括一个或一个以上的查询真实指令;
8.如权利要求7所述的微纳加工实验室设备信...
【专利技术属性】
技术研发人员:李季,徐巍,李艺杰,覃检兰,
申请(专利权)人:香港科技大学广州,
类型:发明
国别省市:
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