【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于纳米级二氧化硅材料合成领域,具体涉及一种硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法。
技术介绍
1、目前,常规的正硅酸酯水解工艺通常只能得到球形硅溶胶,这是因为同样体积的情况下,球体的表面积最小,因此球形胶粒的表面能更低,在热力学上更加稳定。但是在cmp过程中,有时希望胶粒为非球形形貌,因为抛光过程中非球形胶粒在硅晶圆表面发生滑动,球形胶粒则容易发生滚动,前者的摩擦系数大得多,所以抛光效果往往更加优秀,具有更高的研磨效率,并且与球形硅溶胶相比,非球形硅溶胶用于喷墨记录介质具有更好的墨水容纳能力。
2、关于非球形硅溶胶的制备方法有不少专利文献报道。例如:中国专利文献cn1316976a提供了一种非球形硅溶胶的制备方法,包括步骤:向ph值2~6的活性硅酸或3~8nm的酸性胶中加入水溶性二价或三价金属盐,混合后加入碱性物质调节ph值7~11,然后在100~200℃反应得到念珠状硅溶胶,但是该方法由于加入了金属盐,结束后体系中含有高浓度的阴离子。中国专利文献cn111377454a提供了一种以乙醇为溶剂,正硅酸四乙酯为
...【技术保护点】
1.一种硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法,其特征在于,包括步骤如下:
2.根据权利要求1所述硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法,其特征在于,所述Ca(OH)2溶液中Ca(OH)2的质量分数为0.02~0.06%。
3.根据权利要求1所述硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法,其特征在于,所述碱性球形硅溶胶中二氧化硅的质量分数为20~30%,Na2O的质量分数为0.1~0.5%,碱性球形硅溶胶的pH为8~10。
4.根据权利要求1所述硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法,其特征在于,所述碱性球形硅溶胶中二氧
...【技术特征摘要】
1.一种硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法,其特征在于,包括步骤如下:
2.根据权利要求1所述硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法,其特征在于,所述ca(oh)2溶液中ca(oh)2的质量分数为0.02~0.06%。
3.根据权利要求1所述硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法,其特征在于,所述碱性球形硅溶胶中二氧化硅的质量分数为20~30%,na2o的质量分数为0.1~0.5%,碱性球形硅溶胶的ph为8~10。
4.根据权利要求1所述硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法,其特征在于,所述碱性球形硅溶胶中二氧化硅的粒径为5~50nm,优选为5~20nm。
5.根据权利要求1所述硅粉法制备含有非球形二氧化硅的硅溶胶的方法,其特征在于,所述碱性球形硅溶胶中的二氧化硅与ca(oh)2溶液中ca(oh)2的质量比为100:1~1.6,优选为100:1.4~1.56。
6.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱丽杰,李洋,陈少华,张强,李玉鑫,卢庆镇,刘峰,谢可彬,
申请(专利权)人:山东银丰纳米新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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