【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光谱检测，具体涉及一种超宽气体检测范围的测量装置及其测量方法。
技术介绍
1、常用的光谱检测技术有若干种，每一种都有相应的优缺点。
2、可调谐半导体激光吸收光谱技术（tdlas）是一种灵敏度较高的光谱检测技术，可以实现浓度在ppm（10-6）量级的气体检测，其测量范围一般在3个数量级左右（103），为了提高tdlas的检测能力，可以结合赫利奥特多次反射吸收池（herriott multi - pass cell），其吸收光程从cm量级可提高到m量级，从而增强tdlas的检测能力。
3、激光光腔衰荡光谱（crds）是一种灵敏度极高的光谱检测技术，可以实现浓度在ppb（10-9）量级甚至ppt（10-12）量级的超低含量气体探测，其测量范围一般在4个数量级（104）左右。
4、单一方法的光谱检测技术难以兼顾宽范围且高精度的测量需求，现有技术中为了解决此问题通常是将几种光谱检测技术简单联合，然而这种简单联合的方案中，各种光谱检测技术本身依然是独立工作的，检测所需气体含量与同时采取多种单独的检测...
【技术保护点】
1.一种超宽气体检测范围的测量装置，其特征在于，所述测量装置包括激光器（1）、隔离器（2）、分光模块（3）、声光调制器（4）、双光路吸收器（5）、第一探测器（7）和第二探测器（6）；
2.如权利要求1所述的超宽气体检测范围的测量装置，其特征在于，所述双光路吸收器（5）包括圆柱形壳体（5-1）、第一反射镜（5-2）和第二反射镜（5-3）；第一反射镜（5-2）和第二反射镜（5-3）位于壳体内，且相对设置用于构成双光路吸收腔；所述双光路吸收腔由中心衰荡腔和多次反射池构成。
3.如权利要求2所述的超宽气体检测范围的测量装置，其特征在于，所述第一反射镜（...
【技术特征摘要】
1.一种超宽气体检测范围的测量装置，其特征在于，所述测量装置包括激光器（1）、隔离器（2）、分光模块（3）、声光调制器（4）、双光路吸收器（5）、第一探测器（7）和第二探测器（6）；
2.如权利要求1所述的超宽气体检测范围的测量装置，其特征在于，所述双光路吸收器（5）包括圆柱形壳体（5-1）、第一反射镜（5-2）和第二反射镜（5-3）；第一反射镜（5-2）和第二反射镜（5-3）位于壳体内，且相对设置用于构成双光路吸收腔；所述双光路吸收腔由中心衰荡腔和多次反射池构成。
3.如权利要求2所述的超宽气体检测范围的测量装置，其特征在于，所述第一反射镜（5-2）为圆形，其镜面分为反射率不同的两个区域，中心圆区域（5-2-1）反射率为99.999%，外圆环区域（5-2-2）反射率为98%；外圆环区域（5-2-2）中还设置有一个通光孔（5-2-3），所述通光孔（5-2-3）用于让多次反射池的激光透过；所述第二反射镜（5-3）与第一反射镜（5-2）结构相同。
4.如权利要求3所述的超宽气体检测范围的测量装置，其特征在于，所述中心衰荡腔为以第一反射镜（5-2）和第二反射镜（5-3）的两个中心圆区域为端面构成的圆柱体空间；所述多次反射池为以第一反射镜（5-2）和第二反射镜（5-3）的两个外圆环区域为端面构成的空心圆柱体空间。
5.如权利要求2所述的超宽气体检测范围的测量装置，其特征在于，壳体（5-1）两端分别设置有圆形输入端面（5-6）和...
【专利技术属性】
技术研发人员：李明宇，王学军，赵磊，阮炜，刘俊，彭柳，
申请(专利权)人：中国船舶集团有限公司第七一九研究所，
类型：发明
国别省市：
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