【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及撕膜设备，特别涉及一种真空无耗材撕膜机构。
技术介绍
1、在半导体行业，大面积薄板类产品加工制造工艺中，涉及到使用薄膜结构来实现保护产品表面或提供临时支撑固定的目的贴膜工艺，如采用隔离膜作为用于将产品与空气隔离的关键保护层，在正式生产前该隔离膜需被精准撕下，以确保后续作业的顺利开展。再比如在加工超薄晶圆、柔性基板或易碎产品时，由于其自身刚性不足，无法承受某些加工(如光刻、蚀刻、清洗、传输)的应力，需要将它们临时固定在刚性载具上，这就需要一种临时固定膜。加工时，临时固定膜牢固地将薄/柔性产品固定在载具上，防止移位、翘曲或振动损坏。加工完成后仍需要将这层临时固定膜撕下，以进行后续作业。目前市面上较为常见的两种撕膜方法均存在一定的局限性。
2、一方面，利用胶带将所需撕的膜粘上，从而利用胶带配合电机或气缸将膜的边缘起开，再通过机构夹持撕下膜的方法，在一些特殊环境下表现出明显的弊端。例如在高温环境里，膜的粘性会因温差而产生较大波动，这就对胶带的特性提出了极为严苛的要求。更关键的是，胶带这种耗材的使用，不仅增加了成本支出，...
【技术保护点】
1.一种真空无耗材撕膜机构，用于撕去产品表面的膜层，其特征在于，包括升降机构、横移机构和真空吸附夹持模组；所述真空吸附夹持模组与所述升降机构连接，所述升降机构与所述横移机构连接；
2.根据权利要求1所述的一种真空无耗材撕膜机构，其特征在于，所述真空吸附起膜机构还包括中空管，所述中空管通过吊架吊装于所述升降机构的下方，所述滚盘固定安装于所述中空管上，所述吸嘴与所述中空管连通；所述中空管的一端与真空发生装置相连，且所述中空管能够随滚盘转动。
3.根据权利要求2所述的一种真空无耗材撕膜机构，其特征在于，所述滚盘和吸嘴的数量设置有多个，所述多个滚盘依次...
【技术特征摘要】
1.一种真空无耗材撕膜机构，用于撕去产品表面的膜层，其特征在于，包括升降机构、横移机构和真空吸附夹持模组；所述真空吸附夹持模组与所述升降机构连接，所述升降机构与所述横移机构连接；
2.根据权利要求1所述的一种真空无耗材撕膜机构，其特征在于，所述真空吸附起膜机构还包括中空管，所述中空管通过吊架吊装于所述升降机构的下方，所述滚盘固定安装于所述中空管上，所述吸嘴与所述中空管连通；所述中空管的一端与真空发生装置相连，且所述中空管能够随滚盘转动。
3.根据权利要求2所述的一种真空无耗材撕膜机构，其特征在于，所述滚盘和吸嘴的数量设置有多个，所述多个滚盘依次排布于所述中空管的轴向上。
4.根据权利要求2所述的一种真空无耗材撕膜机构，其特征在于，还包括吸嘴复位模组，所述吸嘴复位模组包括吸嘴复位驱动机构和安装于所述中空管上的吸嘴复位拨杆，所述吸嘴复位驱动机构作用于所述吸嘴复位拨杆，以带动所述中空管上的滚轮转动，使所述吸嘴复位。
5.根据权利要求4所述的一种真空无耗材撕膜机构，其特征在于，所述吸嘴复位驱动机构包括复位驱动件和连接在所述复位驱动件上的吸嘴复位拨动块，所述复位驱动件驱动所述吸嘴复位拨动块移动，以作用于所述吸嘴复位拨杆。
6.根据权利要求2所述的一种真空无耗材撕膜机构，其特征在于，所述中空管上还设有弹性阻尼机构，所述弹性阻尼机构包括阻尼旋转块、阻尼固...
【专利技术属性】
技术研发人员：张灯科，
申请(专利权)人：江苏盘古半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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