【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏电池光刻设备领域，尤其涉及一种带有调平机构的光伏电池光刻设备。
技术介绍
1、目前光伏电池片均是采用丝网印刷法，将银浆料以图形方式转印到光伏电池片上，再经过高温或低温烧结形成银电极来作为导体；该方法工艺简单，是目前光伏电池量产采用最广泛的电池片金属化方法；近年来，丝网印刷工艺中银电极的宽度及高宽比已接近发展极限，但是该工艺方法使用的银浆料价格昂贵，导致光伏电池生产成本无法进一步降低；为降低光伏电池片成本，同时提升光伏电池片效率，使用图形化加电镀的金属化方法制作电池片金属电极应运而生；图形化加电镀的金属化方法可使用更为便宜的铜金属来替代银，不仅可以成本降低，而且能将导线做的越来越细，提升电池片的发电效率；
2、光刻作为图形化工艺的一道工序，是图形化最关键的步骤之一，决定了后续电镀出来的图形的线宽、线高以及形貌；光刻又存在多种实现方法，本申请中涉及到的是一种曝光的光刻工艺；所谓曝光，是采用紫外平行光源，照射掩模版，其中掩模版根据定制的图形存在透光和不透光区域，平行光在穿过掩膜版的透光区域后，照射到电池片上，使得电池...
【技术保护点】
1.一种带有调平机构的光伏电池光刻设备，包括光源(1)、掩模版固定机构(2)、掩模版(3)、电池片(4)、曝光台面(5)、台面移动模组(6)、校正模组(7)、光源支架(8)、摆动台(9)和大理石台面(10)，所述大理石台面(10)的顶部通过光源支架(8)安装有光源(1)；所述大理石台面(10)的顶部还通过螺栓安装有台面移动模组(6)；所述台面移动模组(6)的顶部依次设置有曝光台面(5)、电池片(4)、掩模版(3)以及掩模版固定机构(2)；所述大理石台面(10)的顶部对应掩模版(3)固定安装有摆动台(9)；其特征在于：所述大理石的顶部通过螺栓安装有校正模组(7)；所述校...
【技术特征摘要】
1.一种带有调平机构的光伏电池光刻设备，包括光源(1)、掩模版固定机构(2)、掩模版(3)、电池片(4)、曝光台面(5)、台面移动模组(6)、校正模组(7)、光源支架(8)、摆动台(9)和大理石台面(10)，所述大理石台面(10)的顶部通过光源支架(8)安装有光源(1)；所述大理石台面(10)的顶部还通过螺栓安装有台面移动模组(6)；所述台面移动模组(6)的顶部依次设置有曝光台面(5)、电池片(4)、掩模版(3)以及掩模版固定机构(2)；所述大理石台面(10)的顶部对应掩模版(3)固定安装有摆动台(9)；其特征在于：所述大理石的顶部通过螺栓安装有校正模组(7)；所述校正模组(7)用于检测掩模版(3)和曝光台面(5)之间的平行度，所述掩模版(3)通过摆动台(9)的摆动，与曝光台面(5)平行，从而实现调平。
2.根据权利要求1所述的光伏电池光刻设备，其特征在于：所述摆动台(9)通过电机驱动，所述摆动台(9)可以绕x轴和y轴摆动，以实现掩模版(3)的多方向调平。
3.根据权利要求2所述的光伏电池光刻设备，其特征在于：所述校正模组(7)选用激光准直仪，通过发射平行光束，检测掩模版(3)底面的平面倾斜度，并将检测结果发送给设备主控制单元，主...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，杨欣，刘尔明，
申请(专利权)人：苏州皓申智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。