精制硅的制造方法技术

技术编号:4658032 阅读:249 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术由C↓[10max]和Y↓[0]预先求得满足下式(1)的标准温度梯度(T↓[0])和标准凝固速度(R↓[0])。k={K↓[1]×Ln(R↓[0])+K↓[2]}×{K↓[3]×exp[K↓[4]×R↓[0]×(K↓[5]×C↓[2]+K↓[6])]}×{K↓[7]×T↓[0]+K↓[8]}-K↓[9](1)[k为选自按照满足式(2)而求得的铝有效分配系数k’的0.9倍~1.1倍范围的系数,C↓[10max]=k′×C↓[2]×(1-Y↓[0])↑[k′-1](2)(k’为铝有效分配系数、C↓[2]为原料硅熔融液的铝浓度。)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及,详细地说涉及通过在铸模内在将 温度梯度设为单向的状态下对含铝的原料硅熔融液进行冷却使其凝 固的所谓方向凝固法制造精制硅的方法。
技术介绍
作为从含铝的原料硅熔融液(2)中除去铝制造精制硅(1)的方 法,已知如图l所示在铸模(3)内在将温度梯度(T)设为单向的状 态下对原料硅熔融液(2)进行冷却使其凝固的所谓方向凝固法。根 据该方法,由于原料硅熔融液(2)在从温度梯度(T)的低温侧(21 ) 向高温侧(22)偏析铝的同时发生凝固、变为硅方向凝固物(4), 因此,该硅方向凝固物(4)由处于凝固时的温度梯度(T)的低温侧 (21)且铝浓度(C)较低的精制硅区域(41)和处于温度梯度(T) 的高温侧(22)且铝浓度(C)较高的粗硅区域(45)的2个区域构 成。其中,通过从硅方向凝固物(4)中切除粗硅区域(45),作为 铝浓度(C)较低的精制硅区域(41),可以获得目标的精制硅(1) 。在该方向凝固法中,由于温度梯度(T)越大、或者凝固速度(R) 越慢,则越多的铝在高温侧(22)偏析,因此可以更多地获得最大铝 浓度良好的精制硅(l),但设置大的温度梯度(T)需要大型的设备、 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种精制硅(1)的制造方法,其为通过在铸模(3)内在将温度梯度(T)设为单向的状态下对含铝的原料硅熔融液(2)进行冷却,获得含有铝浓度(C)为目标最大铝浓度(C↓[10max](ppm))以下的精制硅区域(41)和超过目标最大铝浓度(C↓[10max])的粗硅区域(45)的硅方向凝固物(4),从所得硅方向凝固物(4)中切除粗硅区域(45)获得铝浓度(C(ppm))为目标最大铝浓度(C↓[10max])以下的精制硅(1)的方法,其特征在于,预先由目标最大铝浓度(C↓[10max])、用上述精制硅(1)的质量(M↓[1])与所用原料硅熔融液(2)的质量(M↓[2])之比(M↓[1]/M↓[2])表...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:惠智裕田渕宏
申请(专利权)人:住友化学株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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