本发明专利技术提供了一种双面研磨机,涉及研磨机技术领域,包括:研磨工艺规划模块,用于确定工件的最佳研磨工序和每个研磨工序对应的最佳工艺参数;研磨执行模块,用于基于最佳研磨工序和每个研磨工序对应的最佳工艺参数对工件进行研磨加工;视觉反馈控制模块,用于动态调整每个研磨工序对应的最佳工艺参数。本发明专利技术通过研磨工艺规划模块基于工件材料特性需求进行科学算法计算,改变了传统依赖人工经验规划工艺的模式,可针对不同材料和精度要求的工件定制个性化研磨方案,研磨执行模块与视觉反馈控制模块的协同工作,实现了研磨压力、速度等工艺参数的动态调整,通过实时图像分析和参数修正,有效保障了研磨质量的稳定性和可靠性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于研磨机,具体涉及一种双面研磨机。
技术介绍
1、研磨机是一种用于对工件表面进行精密加工的设备,广泛应用于电子、光学、机械制造等领域,其核心功能是通过研磨盘的旋转运动,配合研磨液和磨粒,对工件的平面、曲面等表面进行研磨加工,以达到规定的表面粗糙度、平面度、平行度等精度要求,在半导体晶圆加工、光学镜片研磨、精密机械零件制造等场景中,研磨机的加工精度和效率直接影响着产品的性能和质量;
2、现有研磨机在实际应用中仍存在以下问题:传统研磨工艺规划往往依赖操作人员的经验,缺乏基于工件材料特性(如硬度、弹性模量)和研磨质量需求的科学算法支撑,难以针对不同材料和精度要求的工件制定个性化研磨方案,导致工艺适应性较差,研磨过程中,工艺参数(如研磨压力、速度、时间)的调整主要依靠人工判断,无法根据工件表面实时状态进行动态反馈控制,容易因参数设置不合理导致表面粗糙度不达标、材料去除不均匀等问题,影响加工质量的稳定性,此外,人工干预频繁不仅增加了操作成本,还可能因人为误差导致加工效率低下、废品率升高,难以满足高精度、大批量生产的需求。</p>
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【技术保护点】
1.一种双面研磨机,其特征在于:包括:
2.根据权利要求1所述的一种双面研磨机,其特征在于:研磨执行模块包括研磨执行子模块、工件安装子模块和研磨液供给子模块;
3.根据权利要求2所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述研磨执行子模块包括上研磨盘组件和下研磨盘组件;
4.根据权利要求3所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述工件安装子模块包括若干工件保持架(12),所述若干工件保持架(12)设置在下研磨盘(10)上,并啮合连接在所述动力齿环(11)与所述动力齿轮(8)之间,所述工件保持架(12)用于安装工件。
5.根据权利要求3所述的一种双面研磨...
【技术特征摘要】
1.一种双面研磨机,其特征在于:包括:
2.根据权利要求1所述的一种双面研磨机,其特征在于:研磨执行模块包括研磨执行子模块、工件安装子模块和研磨液供给子模块;
3.根据权利要求2所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述研磨执行子模块包括上研磨盘组件和下研磨盘组件;
4.根据权利要求3所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述工件安装子模块包括若干工件保持架(12),所述若干工件保持架(12)设置在下研磨盘(10)上,并啮合连接在所述动力齿环(11)与所述动力齿轮(8)之间,所述工件保持架(12)用于安装工件。
5.根据权利要求3所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述研...
【专利技术属性】
技术研发人员:许亚杰,周球,翟佳乐,
申请(专利权)人:北京利研科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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