【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光敏树脂材料，具体涉及一种光敏聚酰亚胺聚合物、光敏聚酰亚胺薄膜及其制备方法和应用。
技术介绍
1、高性能塑料因其在航空航天、汽车、电子及相关行业中的潜在应用而备受关注。特别是聚酰亚胺，因其出色的性能（如热稳定性和化学稳定性以及低介电常数）而被广泛用作微电子设备的绝缘材料。它们大多是由芳香族二酐与芳香族二胺反应制得的。该反应通过一种可溶性的聚酰胺酸中间体进行，该中间体在进一步加热时会发生缩合反应，从而形成聚酰亚胺并释放出水。这种芳香族聚酰亚胺因其不溶于有机溶剂且熔点较高，在大多数情况下，首先会制备聚酰胺酸，然后将其加工成预设形态，之后通过热环化反应来形成聚酰亚胺。然而，这种以聚酰胺酸（paa）为前驱体的加工方法存在一些显著的局限性，如聚酰胺酸与二叠氮萘醌磺酸酯构成的光敏聚酰胺酸体系在曝光区与非曝光区之间难以获得较大溶解度差异，不足以构建精细图案。以及热酰亚胺化温度普遍过高，热膨胀系数过大等技术壁垒，为提高光刻过程的灵敏度和分辨率（最小曝光宽度），控制paa在碱性溶液中的溶解速率是需要研究的重要内容。
2、对paa...
【技术保护点】
1.一种光敏聚酰亚胺聚合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的光敏聚酰亚胺聚合物的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，二酸酐、2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷和二胺单光敏体的摩尔比为10:9:1。
3.根据权利要求1所述的光敏聚酰亚胺聚合物的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述有机溶剂为N, N-二甲基甲酰胺、N, N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、丙二醇甲醚醋酸酯和γ-丁内酯中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的光敏聚酰亚胺聚合物的制备方法，其特征在于，所述二胺光敏单体由如下...
【技术特征摘要】
1.一种光敏聚酰亚胺聚合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的光敏聚酰亚胺聚合物的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，二酸酐、2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷和二胺单光敏体的摩尔比为10:9:1。
3.根据权利要求1所述的光敏聚酰亚胺聚合物的制备方法，其特征在于，步骤s1中，所述有机溶剂为n, n-二甲基甲酰胺、n, n-二甲基乙酰胺、n-甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、丙二醇甲醚醋酸酯和γ-丁内酯中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的光敏聚酰亚胺聚合物的制备方法，其特征在于，所述二胺光敏单体由如下式（2）所示结构的化合物与4-氨基苯硼酸发生suzuki偶联反应得到；
...【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭东，吴静，陈瑞，杨玉照，颜美慧，陈家希，鲁天娇，张婉莹，冯登崇，郭旗，汪成，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。