一种金刚石晶圆片硬度测试方法及装置制造方法及图纸

技术编号:46569234 阅读:0 留言:0更新日期:2025-10-10 21:16
本发明专利技术公开了一种金刚石晶圆片硬度测试方法及装置,涉及到金刚石测试的技术领域,具体步骤如下:将金刚石晶圆片固定在座体上,采用冲击介质材料对被固定的金刚石晶圆片进行喷射冲击;采用冲击介质材料对金刚石晶圆片进行喷射冲击,可以得到金刚石晶圆片的质量损失、表面冲击坑深度以及受冲击后的位移长度,进而使得金刚石晶圆片的硬度测试方法能够量化测试及评价其硬度,并且本申请的测试方法不是破坏性的测试方法,不影响金刚石晶圆片的后续加工使用,降低了硬度测试的成本,进而使得金刚石晶圆片的硬度测试方法能够低成本测试及评价其硬度,解决了现有的金刚石晶圆片的硬度测试方法不能够低成本量化测试及评价其硬度的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到金刚石测试的,特别是指一种金刚石晶圆片硬度测试方法及装置


技术介绍

1、材料的硬度是指材料抵抗局部变形,特别是塑性变形、压痕或划痕的能力,反映了材料内部原子间结合力的大小,是衡量材料力学性能的一个重要指标。硬度通常与材料的强度、耐磨性等性能密切相关。一般来说,硬度较高的材料,其强度也相对较高,耐磨性较好,但韧性可能会相对较低。在工程应用中,根据不同的需求选择具有合适硬度的材料至关重要。

2、材料硬度测试方法较多,不同的测试方法适用于不同类型的材料和不同的应用场景。对于脆性较高的超硬材料,由于其易断裂而产生塑性变形,通常通过测量材料压痕的尺寸或深度来确定硬度值,常见测试方法有布氏硬度、洛氏硬度、维氏硬度等,不同的硬度测试方法采用不同的压头和载荷,具体如下:

3、(1)洛氏硬度测试法:通过测量压头在规定载荷和时间下,压入被测材料表面的深度来确定硬度值。

4、(2)维氏硬度测试法:用一定的载荷将顶角为136°的金刚石正四棱锥压头压入被测材料表面,保持规定时间后卸除载荷,测量压痕对角线长度,据此计算出压痕表面积本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:具体步骤如下:步骤一:将金刚石晶圆片(6)固定在座体上,采用冲击介质材料对被固定的金刚石晶圆片(6)进行喷射冲击;

2.根据权利要求1所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,对所述金刚石晶圆片(6)进行不同位置的测试,通过测试多个位置评价出金刚石晶圆片(6)的整体硬度。

3.根据权利要求1或2所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,所述冲击介质为金刚石微粉。

4.根据权利要求3所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,所述座体为陶瓷材料制成的座体;所述冲击介质倾斜喷射...

【技术特征摘要】

1.一种金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:具体步骤如下:步骤一:将金刚石晶圆片(6)固定在座体上,采用冲击介质材料对被固定的金刚石晶圆片(6)进行喷射冲击;

2.根据权利要求1所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,对所述金刚石晶圆片(6)进行不同位置的测试,通过测试多个位置评价出金刚石晶圆片(6)的整体硬度。

3.根据权利要求1或2所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,所述冲击介质为金刚石微粉。

4.根据权利要求3所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,所述座体为陶瓷材料制成的座体;所述冲击介质倾斜喷射到金刚石晶圆片(6)上。

5.根据权利要求4所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤二中,使用显微镜、扫描电子显微镜 (sem)或高速摄像机观察金刚石晶圆片(6)被冲击前后的表面状态并测量冲击坑深度。

6.根据权利要求5所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤三中,使用电子天平测量金刚石晶圆片(6)被冲击前后的质量。

...

【专利技术属性】
技术研发人员:邢波赵金坠吴锦涛任冠青郭雪菲
申请(专利权)人:精工博研测试技术河南有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1