【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及到金刚石测试的,特别是指一种金刚石晶圆片硬度测试方法及装置。
技术介绍
1、材料的硬度是指材料抵抗局部变形,特别是塑性变形、压痕或划痕的能力,反映了材料内部原子间结合力的大小,是衡量材料力学性能的一个重要指标。硬度通常与材料的强度、耐磨性等性能密切相关。一般来说,硬度较高的材料,其强度也相对较高,耐磨性较好,但韧性可能会相对较低。在工程应用中,根据不同的需求选择具有合适硬度的材料至关重要。
2、材料硬度测试方法较多,不同的测试方法适用于不同类型的材料和不同的应用场景。对于脆性较高的超硬材料,由于其易断裂而产生塑性变形,通常通过测量材料压痕的尺寸或深度来确定硬度值,常见测试方法有布氏硬度、洛氏硬度、维氏硬度等,不同的硬度测试方法采用不同的压头和载荷,具体如下:
3、(1)洛氏硬度测试法:通过测量压头在规定载荷和时间下,压入被测材料表面的深度来确定硬度值。
4、(2)维氏硬度测试法:用一定的载荷将顶角为136°的金刚石正四棱锥压头压入被测材料表面,保持规定时间后卸除载荷,测量压痕对角线长度,
...【技术保护点】
1.一种金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:具体步骤如下:步骤一:将金刚石晶圆片(6)固定在座体上,采用冲击介质材料对被固定的金刚石晶圆片(6)进行喷射冲击;
2.根据权利要求1所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,对所述金刚石晶圆片(6)进行不同位置的测试,通过测试多个位置评价出金刚石晶圆片(6)的整体硬度。
3.根据权利要求1或2所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,所述冲击介质为金刚石微粉。
4.根据权利要求3所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,所述座体为陶瓷材料制成的座体;
...【技术特征摘要】
1.一种金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:具体步骤如下:步骤一:将金刚石晶圆片(6)固定在座体上,采用冲击介质材料对被固定的金刚石晶圆片(6)进行喷射冲击;
2.根据权利要求1所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,对所述金刚石晶圆片(6)进行不同位置的测试,通过测试多个位置评价出金刚石晶圆片(6)的整体硬度。
3.根据权利要求1或2所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,所述冲击介质为金刚石微粉。
4.根据权利要求3所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤一中,所述座体为陶瓷材料制成的座体;所述冲击介质倾斜喷射到金刚石晶圆片(6)上。
5.根据权利要求4所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤二中,使用显微镜、扫描电子显微镜 (sem)或高速摄像机观察金刚石晶圆片(6)被冲击前后的表面状态并测量冲击坑深度。
6.根据权利要求5所述的金刚石晶圆片硬度测试方法,其特征在于:步骤三中,使用电子天平测量金刚石晶圆片(6)被冲击前后的质量。
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【专利技术属性】
技术研发人员:邢波,赵金坠,吴锦涛,任冠青,郭雪菲,
申请(专利权)人:精工博研测试技术河南有限公司,
类型:发明
国别省市:
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