【技术实现步骤摘要】
本申请属于激光加工领域，具体地，涉及一种双波长前聚焦扫描振镜系统。
技术介绍
1、前聚焦扫描振镜系统包括扩束镜、动态聚焦镜和振镜，通过动态聚焦镜和振镜的配合，能够在相同的振镜条件下，实现不同的扫描范围、工作距离和光斑大小，满足对于小光斑大幅面的应用需求。传统的前聚焦扫描振镜系统激光束的聚焦和扫描是基于单一波长进行优化的。但是在实际应用中往往需要同时使用不同波长的激光以获得更高的加工效率或更广泛的材料适应性。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供了一种双波长前聚焦扫描振镜系统，能够满足双波长激光同时加工，且具有较大的扫描幅面。
2、一种双波长前聚焦扫描振镜系统，沿着激光入射方向依次包括扩束镜、动态聚焦镜和扫描振镜；
3、所述扩束镜沿着激光入射方向依次包括第一透镜和第二透镜，所述第一透镜为凹面朝向入射激光的弯月负透镜，所述第二透镜为弯月正透镜；
4、所述动态聚焦镜沿着激光入射方向依次包括第三透镜和第四透镜，所述第三透镜为弯月负透镜，所述第四透镜为双凸正透镜
5、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种双波长前聚焦扫描振镜系统，其特征在于，沿着激光入射方向依次包括扩束镜、动态聚焦镜和扫描振镜；
2.根据权利要求1所述的一种双波长前聚焦扫描振镜系统，其特征在于，所述第三透镜和第四透镜之间的空气间隔调节范围在5.5mm以内，使得聚焦光斑变化范围≤7μm。
3.根据权利要求2所述的一种双波长前聚焦扫描振镜系统，其特征在于，光路垂直时所述第三透镜和第四透镜之间的空气间隔为37.55mm，最大光路倾斜角度下所述第三透镜和第四透镜之间的空气间隔为32.25mm。
4.根据权利要求1所述的一种双波长前聚焦扫描振镜系统，其特征在于，所述第...
【技术特征摘要】
1.一种双波长前聚焦扫描振镜系统，其特征在于，沿着激光入射方向依次包括扩束镜、动态聚焦镜和扫描振镜；
2.根据权利要求1所述的一种双波长前聚焦扫描振镜系统，其特征在于，所述第三透镜和第四透镜之间的空气间隔调节范围在5.5mm以内，使得聚焦光斑变化范围≤7μm。
3.根据权利要求2所述的一种双波长前聚焦扫描振镜系统，其特征在于，光路垂直时所述第三透镜和第四透镜之间的空气间隔为37.55mm，最大光路倾斜角度下所述第三透镜和第四透镜之间的空气间隔为32.25mm。
4.根据权利要求1所述的一种双波长前聚焦扫描振镜系统，其特征在于，所述第一透镜的入射面s1的曲率半径为-27.77mm，所述第一透镜的出射面s2的曲率半径为-66.48mm，所述第一透镜的中心厚度为9.70mm，材料为sf57，折射率nd1＝1.85...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁乔春，韩雪莹，程晓伟，李志刚，
申请(专利权)人：帝尔激光科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。